Brooks Instrument高温质量流量控制器5850EMH系列

Brooks Instrument高温质量流量控制器5850EMH系列

 

    Brooks Instrument精密流体测量和控制技术的制造商，产品主要应用在在重工业。在石油和天然气精炼中。化学和石化研究。制药和生物制药生产。太阳能电池、LED、薄膜、光纤和半导体制造。

 

Brooks Instrument 5850EMH系列高温质量流量控制器说明：

   Brooks Instrument 的 5850EMH系列高温金属密封质量流量控制器在高温气体测量和控制方面提供性能，将金属密封的泄漏完整性与各种选项相结合，从而实现应用灵活性。     Brooks Instrument 5850EMH系列高温质量流量控制器的核心是高度稳定的传感器，可提供与流量成线性关系的电输出信号。该信号用于指示、记录和/或控制目的，无需自动归零电路。

 

 

Brooks Instrument 5850EMH系列高温质量流量控制器特征：

高泄漏完整性（小于 10-11 Pa.m3/s (10-10 atm.cc/s) He）

宽流量范围（0.003 – 100 slpm）

高纯度 VAR 316L 不锈钢

无颗粒物

氦泄漏检查端口

常闭阀（常开阀可选）

电动阀超控

低指令流截止

TTL兼容“阀门关闭”功能

 

Brooks Instrument 5850EMH系列高温质量流量控制器优势：

高达 100 lpm（N 2等效）的高流量能力

全金属流路提高了气体纯度并减少了泄漏

通过仅模拟输入/输出轻松安装和维修

 

Brooks Instrument 5850EMH系列高温质量流量控制器应用

光纤制造 – MCVD、OVD、AVD

水蒸气流量控制 

 

Brooks Instrument 5850EMH系列高温质量流量控制器应用规格：

流量范围（满量程）：3 sccm - 30 slm（当量 N 2）  

重复性：< ±0.25% SP 

响应时间：3 秒至 SP 的 2% 以内（根据 SEMI E17-91）

模拟通信：：0-5 伏直流电

流量范围（满量程）：100 slm（N 2等效）

准确性：FS 的 1%

线性度：包括在准确性中。

密封材料：金属

接液材料：316L、316L VAR 和高合金铁 SS

温度：105摄氏度_

差压范围：50 - 350 kPa (7 - 50 psid)

压力：1 兆帕（145 磅/平方英寸）

泄漏完整性：1x10 -10 atm cc/sec He (1x10 -11 Pa m 3 /sec)

电气连接：15 针“D”连接器

电源/消耗：±15 Vdc @ 350 mA 

 

Brooks Instrument流量计常见型号：

Brooks Instrument SLA5853S3AAB2C2A1

Brooks Instrument SLAMF50S1BAF1G2A2

Brooks Instrument SLAMF50S1BAB1G2A2

Brooks Instrument SLAMF50S1BDD1G2A2

Brooks Instrument 1350GAH3ABJT1AAA

Brooks Instrument SLA5850SB1AB1B2A1

 

Brooks Instrument高温质量流量控制器5850EMH系列