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| 品牌Brooks Instrument | 有效期至长期有效 | 最后更新2022-08-08 16:20 |
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Brooks Instrument质量流量控制器5851EMH
Brooks Instrument质量流量控制器5851EMH
Brooks Instrument精密流体测量和控制技术的制造商，产品主要应用在在重工业。在石油和天然气精炼中。化学和石化研究。制药和生物制药生产。太阳能电池、LED、薄膜、光纤和半导体制造。
Brooks Instrument 5851EMH质量流量控制器用于高温应用的超纯性能。
Brooks Instrument 5851EMH质量流量控制器技术规格：
流量范围（满量程）：10 - 100 slm（N 2等效）
准确性：FS ±1%
重复性：< ±0.25% SP
响应时间：3 秒至 SP 的 2% 以内（根据 SEMI E17-91）
模拟通信：：0-5 伏直流电
Brooks Instrument流量计常见型号：
SLA5853S3AAB2C2A1
SLAMF50S1BAF1G2A2
SLAMF50S1BAB1G2A2
SLAMF50S1BDD1G2A2
1350GAH3ABJT1AAA
SLA5850SB1AB1B2A1
Brooks Instrument质量流量控制器5851EMH
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