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| 品牌Brooks Instrument | 有效期至长期有效 | 最后更新2022-08-08 16:43 |
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Brooks Instrument质量流量控制器4850型
Brooks Instrument质量流量控制器4850型
Brooks Instrument精密流体测量和控制技术的制造商，产品主要应用在在重工业。在石油和天然气精炼中。化学和石化研究。制药和生物制药生产。太阳能电池、LED、薄膜、光纤和半导体制造。
Brooks Instrument 4850型质量流量控制器优势：
Brooks Instrument 4800系列质量流量控制器和仪表基于 MEMS 的热传感器，结合专有的 PID 算法来优化控制阀响应，Brooks Instrument 4800 系列控制器能够快速匹配实际质量流量以适应任何变化。设定点。可选的本地操作员界面 (LOI) 提供了方便的用户界面来查看、控制和配置设备，无需远程辅助电子设备。
快速响应时间确保工艺配方更改过程中的快速步骤
适合 OEM：紧凑的尺寸便于集成到狭小的机器空间并加快安装速度
可选的本地操作员界面 (LOI) 是本地指示、设定点控制和设备配置的交钥匙解决方案；无需远程辅助电子设备
多种通信选项可轻松满足用户需求
Brooks Instrument 4850型质量流量控制器特征：
流量响应时间（稳定时间）<0.75 秒
创新的 MEMS 传感器和专有的 PID 算法
紧凑的尺寸不到典型热 MFC 尺寸的一半：1” x 3” x 4” (25 mm x 76 mm x 101 mm)
可选的本地操作员界面 (LOI) 简化了设置和操作；免费下载LabVIEW VI，用于监控和归零设备
通过 RS-232 的数字能力
Brooks Instrument 4850型质量流量控制器应用：
热处理、切割/焊接和其他热处理工艺
太阳能/薄膜物理气相沉积 (PVD) 系统
用于测量和控制试剂、校准和样气流量的分析设备
Brooks Instrument 4850型质量流量控制器技术规格：
流量范围（满量程）：50 sccm - 40 slpm
准确性：3.0% 满额，1.0% FS（可选）
重复性：0.15% FS
响应时间：常闭阀：300 ms - <1 sec
常闭阀：300 ms - <1 sec
压力：150 磅/平方英寸/10 巴
模拟通信：0-5 伏直流，4-20 毫安
数字通信：RS232
控制范围：2-100%
温度范围：5-50摄氏度
泄漏完整性：1x10 -10 atm cc/sec He
密封材料：弹性体密封
接液材料：316 不锈钢，哈氏合金 C-22，1707 PH，43055
电源/消耗：+15 Vdc + 10% 或 +24 Vdc + 10%
Brooks Instrument流量计常见型号：
SLA5853S3AAB2C2A1
SLAMF50S1BAF1G2A2
SLAMF50S1BAB1G2A2
SLAMF50S1BDD1G2A2
1350GAH3ABJT1AAA
SLA5850SB1AB1B2A1
Brooks Instrument质量流量控制器4850型
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