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德国PI XYZ压电弯曲扫描仪P-733.3 XYZ压电纳米定位器

特点：

·         X，Y的行程范围为100 µm×100 µm，Z的行程范围为10 µm

·         电容式传感器的分辨率可达0.1 nm

·         直接驱动的高速版本

·         超高真空兼容和非磁性版本

·         并联运动学可实现更高的精度和动力学

·         并行计量，可主动补偿导向误差

·         零间隙，高精度挠曲导向系统

·         透明孔径50 mm×50 mm，用于透射光应用

应用领域

·         扫描显微镜

·         共聚焦显微镜

·         掩膜/晶圆定位

·         表面测量技术

·         纳米压印

·         显微操作

·         图像处理/稳定

·         纳米定位具有很高的平面度和运动平直度

电容式传感器的亚纳米分辨率

电容式传感器在不接触的情况下以亚纳米分辨率进行测量。它们保证了出色的运动线性，长期稳定性以及kHz范围内的带宽。

自动配置和快速的组件更换

机械和控制器可以根据需要进行组合，并可以快速更换。所有伺服和线性化参数都存储在机械师D-sub连接器的ID芯片中。每次打开控制器时，数字控制器的自动校准功能都会使用此数据。

适用于复杂的真空应用

压电系统中使用的所有组件都非常适合在真空中使用。无需润滑剂或油脂即可运行。不含聚合物的压电系统可实现极低的除气率。

PICMA®压电执行器，使用寿命长

获得专利的PICMA®压电执行器是全陶瓷绝缘的。这样可以保护它们免受潮湿和泄漏电流增加引起的故障的影响。PICMA®执行器的使用寿命是传统聚合物绝缘执行器的十倍之多。事实证明，没有单一故障的1000亿次循环。

零游隙挠性导轨，导向精度高

挠性导板无维护，无摩擦和无磨损，并且不需要润滑。它们的刚度允许高负载能力，并且对冲击和振动不敏感。它们是100％真空兼容的，并且可以在宽温度范围内工作。

平行位置测量，在纳米范围内具有很高的跟踪精度

所有的自由度均以单个固定参考为参考。可以实时地（取决于带宽）主动补偿与另一轴发生的不必要的运动串扰（主动引导）。即使在动态操作中，也可以在纳米范围内实现高跟踪精度。