PI (Physik Instrumente)线性促动器

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PI不仅开发和生产各种定位平台和执行器，用于线性，旋转和垂直运动或不同轴的组合。 因此，PI可以将这些解决方案应用于客户特定应用，或者提供用于运动和定位的成品子系统。

PI是技术先进的以运动为中心的解决方案的供应商，因此使用专有的驱动组件和高精度定位器。 所有级别的集成都可以达到使用不同驱动技术（包括运动控制）的多轴组合。

多年来，运动子系统的工程设计一直是PI核心业务的一部分。 定制解决方案，无缝融入现有流程，推动芯片生产或光子封装制造和检测流程的自动化以及主要研究设施。

精密部件是高质量多轴设计的基础
成功的关键是PI Group的全部知识和经验。 通过一家供应商提供的广泛标准产品组合，可轻松实现定制解决方案。 PI提供系统的所有组件并配置多轴结构。

长行程纳米定位，具有高力，PiezoWalk原理

应用领域

工业级精度定位

半导体技术

半导体测试

晶圆检测

平版印刷术

纳米压印

纳米测量

强磁场和真空中运动

采用PiezoWalk步进驱动实现纳米精度和大进给力

数个压电陶瓷促动器在

PiezoWalk步进驱动中执行步进运动，将动轮向前推进。促动器控制允许以远低于一纳米的分

辨率进行最小步进和推进运动。

增量

编码器用于高精度位置测量

非接触式光学

编码器以极高的精度直接在平台上测量位置。非线性效应、机械作用或弹性形变不会对测量造成影响。

适用于复杂真空应用PI的压电电机原则上是真空兼容的，并且适合在强磁场中运行。驱动器的特殊版本适于此目的。压电陶瓷步进驱动器还可用于有较强紫外线辐射的无尘室或环境中。

规格

N-216.101 / N

-216.1A1N

-216.201 / N

-216.2A1

公差N-216NEXLINE

线性促动器

力量生成达600牛

保持力达800牛

行程20毫米

带分辨率的集成式直接测量线性编码器5纳米

订购信息

N-216.101

NEXLINE压电陶瓷步进高负载促动器，20毫米，300牛，开环

N-216.1A1

NEXLINE压电陶瓷步进高负载促动器，20毫米，300牛，线性编码器，5纳米分辨率

N-216.201

NEXLINE压电陶瓷步进高负载促动器，20毫米，600牛，开环

N-216.2A1

NEXLINE压电陶瓷步进高负载促动器，20毫米，600牛，线性编码器，5纳米分辨率