PI-XY位移平台

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       在PI生产的XY位移平台的应用领域中，稳定性、精度和动态性至关重要， 其是高生产率和可靠操作的基础。

　　PI在PIMag®磁性线性电机和PIglide空气轴承领域利用了自身的研发成果。工业生产和质量控制都可得益于PI的高负载XY位移平台和平面扫描仪。

　　对于拓扑测量等领域中的显微应用，PIline®驱动的样本平台实现了将快速、重复精度高的扫描与最佳速度稳定性相结合。该类平台在此领域中拥有卓越的低外形， 而与压电陶瓷柔性铰链样本平台的组合使其用途变得极其广泛。

　　A-351

　　描述

　　从上空移动XY龙门

　　精密循环滚珠轴承导轨

　　绝对编码器

　　高性能无铁芯线性电机

　　多种行程。可选配件和定制版本

　　灵活的模块化平

　　概述

　　MGS龙门系统旨在针对需要从上空移动的应用提高产出。此平台特别适用于3D打印、装配、取放、对准、检查和工业自动化应用。

　　MGS使用预加载线性机械轴承，此类轴承旨在提供优化的刚度和精度。可交付可选不锈钢导轨。

　　龙门轴可组合双线性电机和双线性编码器。无铁芯线性电机提供流畅的运动，且无齿槽效应或吸引力。线性电机和线性编码器均为非接触设备，因此不必担心空回、磨损或维护等问题。

　　A-351与业界主导的ACS控制器和驱动模块相结合，可提供优异的伺服性能、先进控制算法，从而提高动态性能和误差补偿，并改善一整套软件开发工具。

　　应用领域

　　扫描, 数字印刷, 电子元件组装和检验, AOI(自动光学检验), 自动化.

　　选配件和定制版本

　　底座由花岗岩或铝制成

　　可调节工作高度

　　隔振系统

　　额外的牵引链

　　线性电机的性能

　　线性电机的液体冷却

德国PI系列介绍：

　　1.PI XY位移平台

　　高精度的2轴纳米定位系统集成了PICMA®压电执行器，以实现大的可靠性。通过使用高质量的纳米计量传感器，可以实现具有佳稳定性的可重复，无漂移的定位

　　用于小负载的2轴压电扫描仪经常用于扫描和跟踪过程。它们的快速步进运动提高了光学系统的分辨率。这些包括相机技术中的成像过程和图像识别，例如用于生物识别或文档存档。

　　型号介绍：

　　紧凑型XY压电位移台

　　P-611.XZ•P-611.2 XZ和XYZ纳米定位器：用于纳米定位的紧凑型两轴压电系统

　　P-620.2 – P-629.2 PIHera XY压电平台：行程范围可变的高精度XY纳米定位器

　　XY压电挠性位移台

　　P-612.2 XY压电纳米定位系统：紧凑，带光圈

　　P-541.2•P-542.2 XY压电平台：大口径薄型XY纳米定位系统

　　P-733.2 XY压电纳米定位器：高精度XY光圈扫描仪

　　P-734 XY压电扫描仪：具有小跳动和清晰光圈的高动力系统

　　P-763紧凑型XY纳米定位系统：光圈清晰低剖面，经济高效的压电扫描仪，用于生物识别：CCD芯片可在两个轴上动态移动，以提高像素分辨率

　　P-713 XY压电扫描仪：具有成本效益的低矮OEM系统

　　P-545.xR8SPInano®XY(Z)压电系统：用于高分辨率显微镜的廉价纳米定位系统

　　P-545.xC8SPInano®Cap XY(Z)压电系统：电容位置测量，用于超高分辨率显微镜

　　P-545.3D8SPInano®Trak压电跟踪系统：快速XY(Z)平台用于高动态显微镜

　　2.PI XYZ压电弯曲扫描仪

　　PICMA®压电执行器是全陶瓷绝缘的。这样可以保护它们免受潮湿和泄漏电流增加引起的故障的影响。PICMA®执行器的使用寿命是传统聚合物绝缘执行器的十倍之多。事实证明，没有单一故障的1000亿次循环。

　　零游隙挠性导轨，导向精度高

　　挠性导板无维护，无摩擦和无磨损，并且不需要润滑。它们的刚度允许高负载能力，并且冲击和振动不敏感。它们是100%真空兼容的，并且可以在宽温度范围内工作。

　　平行位置测量，在纳米范围内具有很高的跟踪精度

　　所有的自由度均以单个固定参考为参考。可以实时地(取决于带宽)主动补偿与另一轴发生的不必要的运动串扰(主动引导)。即使在动态操作中，也可以在纳米范围内实现高跟踪精度。

　　型号介绍：

　　P-733.3 XYZ压电纳米定位器：高精度XYZ光圈扫描仪

　　P-616NanoCube®纳米定位器：紧凑的并联运动压电系统，用于纳米定位和光纤对准

　　P-611.3NanoCube®XYZ压电系统：紧凑的多轴压电系统，用于纳米定位和光纤对准

　　P-561•P-562•P-563 PIMars纳米定位台：高精度纳米定位器，多可容纳3个轴

　　P-517•P-527多轴压电扫描仪：高动态纳米定位仪/扫描仪，具有直接位置测量功能

　　用于显微镜的压电挠曲XYZ扫描仪

　　P-545.xR8SPInano®XY(Z)压电系统：用于高分辨率显微镜的廉价纳米定位系统

　　P-545.xC8SPInano®Cap XY(Z)压电系统：电容位置测量，用于超高分辨率显微镜

　　P-545.3D8SPInano®Trak压电跟踪系统：快速XY(Z)平台用于高动态显微镜

　　紧凑型精密XYZ纳米扫描仪

　　P-363 PicoCube XY(Z)压电扫描仪：高动态纳米定位系统，用于扫描探针显微镜

　　P-313 PicoCube XY(Z)压电扫描仪：皮克计精度高带宽，用于扫描探针显微镜

　　3.PI 线性压电挠性位移台

　　PI的纳米定位平台和扫描仪将纳米精度的分辨率和引导精度与小的串扰相结合。这使得它们特别适合于计量，微观过程，干涉测量或半导体芯片生产检查系统中的参考应用。

　　带有PICMA®压电执行器驱动器和挠性导轨的线性压电平台可用于大1.5 mm的行程。

　　型号介绍：

　　压电挠性线性平台

　　P-630高动态压电纳米定位系统：1轴大孔径

　　P-753 LISA线性执行器和平台：动态稳定

　　P-752高精度纳米定位台：高动态和稳定的压电扫描仪，具有极其精确的引导

　　P-750压电纳米定位系统：具有直接计量功能的高负载压电驱动纳米定位系统

　　P-611.1线性压电定位系统：廉价，紧凑的线性定位系统

　　P-712线性压电扫描仪：紧凑型OEM系统

　　P-620.1 – P-629.1 PIHera压电线性精密定位器：可变行程范围和轴配置

　　压电挠性垂直平台

　　P-620.Z-P-622.Z PIHera垂直精密Z定位器：可变行程范围和轴配置

　　S-303压电移相器：高动态，纳米级精密压电移相器

　　P-733.Z高动态Z纳米定位仪/扫描仪：直接位置测量和通光孔径

　　P-612.Z压电Z舞台：带孔的紧凑型纳米定位器

　　P-611.Z压电Z舞台：紧凑型纳米定位器

　　特色定制

　　PI P-725KHDS

　　P-725KHDSPIFOC®高动态物镜扫描仪：重型物镜的纳米分辨率

　　4.PI 微型六足动物

　　Q-Motion®压电位移台内置了小的6自由度运动设备，也提供手掌大小的BLDC电机六足位移台。

　　使用的运动设计取决于应用中单个轴上运动的重要性。经典的平行运动六脚架设计可实现佳的整体性能均匀性。当需要相对较大的线性运动时，好采用薄型设计。

　　好使用采用PI的利PICMA®或PiezoWalk®驱动技术的六脚架提供超高真空和非磁性环境。

　　H-811.I2 / I2V 6轴微型六脚架：快速，紧凑，高精度

　　H-811.F2 6轴微型六脚架：光纤对准的理想选择

　　H-811.S2 6轴运动六脚架：快速而紧凑的高动态应用

　　H-810 6轴微型六脚架：最小空间内的高精度

　　P-911KNMV超高压兼容的微型压电六脚架：即使在强磁场中也能进行高精度定位

　　5.PI 微型线性平台

　　微型阶段对于在可用空间有限的定位任务中至关重要。诸如Q-motion®，PIline®和PiezoWalk®之类的压电电机解决方案由于具有直接驱动原理，因此可实现紧凑的平台。

　　型号介绍：

　　带有Q-Motion®，PILine®和PiezoWalk®驱动器的微型平台

　　U-523PILine®线性平台：带有超声波压电电机的紧凑型线性平台

　　Q-521 Q‑Motion®微型线性平台：具有位置控制，高分辨率和价格合理的最小线性平台

　　PI N-565 1200精度高的N-565线性平台：具有亚纳米编码器分辨率的NEXACT®压电步进驱动器

　　U-521PILine®线性平台：带有超声波压电电机的紧凑型线性平台

　　Q-545 Q‑Motion®精密线性平台：压电马达带来的高力和小设计，带有PIMag®VC VoiceCoil和三相直线电机，步进，直流和无刷直流电机的微型平台

　　M-110•M-111•M-112紧凑型线性平台：XY(Z)组合，具有各种驱动器和行程范围

　　L-306紧凑型精密Z工作台：紧凑设计，多轴组合

　　L-505紧凑型线性平台：带直流或步进电机

　　V-408PIMag®线性平台：便宜，带直线电机

　　V-508PIMag®精密线性平台：多种选项可适应需求

　　L-402微型线性平台：带直流或步进电机

　　A-141 PIglide MB微型线性平台，带空气轴承：高性能，无尘室兼容，可定制

　　V-522•V-524•V-528高性能PIMag®线性平台：带直接位置测量的音圈直接驱动

　　M-122.2DD1微翻译平台：具有直接位置测量功能的紧凑型线性平台

　　M-105微翻译平台：精密交叉滚子导轨，PiezoMike选件，XY(Z)组合

　　MTS-65微型线性平台：工业用途的坚固设计

　　L-406紧凑型线性平台：对于10公斤的负载

　　6.PI 微型旋转台

　　带有压电马达的旋转平台使尺寸特别紧凑。

　　显微镜的许多应用要求自由光通过。这些紧凑的旋转平台还可以用于光学应用中，在这些应用中，它们可以可靠地定位滤光片，并具有出色的可重复性。

　　旋转平台可以安装在没有适配器的线性平台上，并且可以灵活组合多轴定位系统。

　　带有Q-Motion和PILine®驱动器的微型旋转台

　　U-622PILine®旋转平台：超声波压电马达微型载物台 ，具有薄型设计的U-651旋转平台，快速PILine®直接驱动和中央开口

　　U-624PILine®旋转平台：超声波压电马达微型载物台

　　Q-632 Q‑Motion®旋转台：紧凑型压电电机：转台直径30 mm，带有步进，直流和无刷直流(BLDC)电机的微型旋转台

　　V-611PIMag®旋转平台：高扭矩的扁平设计，最大承重2 kg

　　RS-40紧凑型旋转台：精确定位

　　V-610紧凑型PIMag®旋转台：紧凑，适用于M-110的多轴组合

　　DT-80紧凑型旋转台：大光圈

　　DT-34微型旋转台：尺寸紧凑，带直流或步进电机

　　PI(Physik Instrumente)位移平台