品牌PI | 有效期至长期有效 | 最后更新2020-07-04 09:13 |
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PI N-765 精密Z向位移台
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样本操纵、样本定位、高精度和高稳定性光学或机械部件、半导体行业中的精密机械部件、显微操纵、显微镜、自动化、有限空间内的应用、真空或无磁性环境中的应用。
Ordering Information
N-765.060 Precision Z stage, 6.5 mm travel range, PIOne linear encoder, 0.5 nm resolution, 25 N push/pull force, dimensions 65 × 110 × 56 mm (W × L × H), NEXACT® piezoelectric walking drive
• 采用PIOne增量编码器实现直接测量,分辨率为0.5纳米
• 最小位移达1纳米
• 行程为6.5毫米
• 负载能力达25牛
• 可以直接安装在N-565线性定位器上
• 采用PIOne增量编码器实现直接测量,分辨率为0.5纳米
• 最小位移达1纳米
• 行程为6.5毫米
• 负载能力达25牛
• 可以直接安装在N-565线性定位器上
NEXACT®参考级线性定位器
带NEXACT® PiezoWalk®驱动器的线性定位器可实现较长行程范围内的纳米级高精度定位。其配置直接测量线性编码器和交叉滚柱轴承,可实现最高精度。紧凑、扁平的设计使定位器能轻松实现机械集成。工作所需电压低。
PiezoWalk®技术:高分辨率、低磨损
PiezoWalk®技术将压电陶瓷促动器与压电电机的技术优势结合在一起。PiezoWalk®步进驱动器不仅能提供亚纳米级分辨率、较大的力和高刚性,而且根据其驱动原理,其还能实现理论上无限的行程。不同于其他压电机动化驱动器原理,PiezoWalk®步进驱动器不受滑动摩擦作用的影响。其是基于几个压电陶瓷促动器的静摩擦接触,这几个促动器沿一个动轮步进。前馈时,促动器被从动轮处物理提升,几乎不会造成任何磨损。在促动器上相对于动轮施加预载可确保步进驱动器自锁。因此,步进驱动器静止状态下将保持位置,关机时可实现机械稳定(无伺服抖a动)。静止状态自锁,无能量消耗,无热量产生。
带PIOne线性编码器用于直接位置测量
高分辨率PIOne编码器由PI研发,在对测量数据进行相应处理后,可实现远低于1纳米的位置分辨率。光学非接触式PIOne编码器基于干涉测量原理。其以极高的精度直接在运动平台上进行实际位置测量,因此非线性效应、机械作用或弹性形变不会对位置测量造成影响。由于信号周期仅为0.5微米,信号质量高,PIOne编码器的线性误差小于1%。PIOne编码器在研究参考信号时支持方向感应。
交叉滚子轴承
利用交叉滚柱轴承,滚珠轴承中的滚珠的接触点被淬火滚柱的线接触取代。因此,它们的刚度明显提高,需要的预载更小,这减少了摩擦并实现了更平滑的运行。交叉滚柱轴承的另一个特征是高导向精度和负载能力。滚动主体架的受迫导向防止滚柱轴承发生蠕变。
有效专利
在压电陶瓷步进驱动器(NEXACT®和NEXLINE®)技术领域,PI拥有以下专利或专利申请:
DE10148267B4,EP1267478B1,EP2209202B1,EP2209203B1,US6800984B2,DE4408618B4
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