德国Physik Instrumente（PI）位移台M-235.5DG

微型舞台

线性平台

线性执行器

旋转台

XY平台

PI的多轴压电挠性位移台允许在多达6个轴上以亚纳米精度进行定位和扫描，包括尖端，倾斜和偏航运动。版本范围从最紧凑的立方体设计到大孔径和薄型。

XYZ扫描仪是定位技术的全方位工具。应用包括样品调整，技术，光学计量，光纤定位和光子学以及原子力显微镜。

所有压电纳米定位系统均已在工厂校准，并随测量记录一起提供。

P-733.3 XYZ压电纳米定位器

应用领域

·         扫描显微镜

·         共聚焦显微镜

·         掩膜/晶圆定位

·         表面测量技术

·         纳米压印

·         显微操作

·         图像处理/稳定

·         纳米定位具有很高的平面度和运动平直度

电容式传感器的亚纳米分辨率

电容式传感器可在不接触的情况下以亚纳米分辨率进行测量。它们保证了出色的运动线性，长期稳定性以及kHz范围内的带宽。

自动配置和快速的组件更换

机械和控制器可以根据需要进行组合并快速更换。所有伺服和线性化参数都存储在机械师D-sub连接器的ID芯片中。每次打开控制器时，数字控制器的自动校准功能都会使用此数据。

适用于复杂的真空应用

压电系统中使用的所有组件都非常适合在真空中使用。无需润滑剂或油脂即可运行。不含聚合物的压电系统可实现极低的除气率。

PICMA®压电执行器，使用寿命长

获得专利的PICMA®压电执行器是全陶瓷绝缘的。这样可以保护它们免受潮湿和泄漏电流增加引起的故障的影响。PICMA®执行器的使用寿命是传统聚合物绝缘执行器的十倍之多。事实证明，没有单一故障的1000亿次循环。

零游隙挠性导轨，导向精度高

挠性导板无维护，无摩擦和无磨损，并且不需要润滑。它们的刚度允许高负载能力，并且对冲击和振动不敏感。它们是100％真空兼容的，并且可在较宽的温度范围内工作。

平行位置测量，在纳米范围内具有很高的跟踪精度

所有的自由度均以单个固定参考为参考。可以实时（取决于带宽）主动补偿（主动引导）轴之间的不良串扰。即使在动态操作中，也可以在纳米范围内实现高跟踪精度。

P-733.3CD

P-733.3CL       

P-733.3DD

应用领域：

·         更多其他产品的型号如下

·         Physik Instrumente  M-235.5DG

·         Physik Instrumente  FH430A69-05+197

·         Physik Instrumente  S-330.2SH

·         Physik Instrumente  PI E-727.3SDA

·         Physik Instrumente  PI E-727.3SD

·         Physik Instrumente  P-561.3CD

·         Physik Instrumente  E-727.3CD

·         Physik Instrumente  P-562.6CD

·         Physik Instrumente  E-712.6CD

·         Physik Instrumente  S-330.2SL

·         Physik Instrumente  E-501.00

·         Physik Instrumente  E-503.00S

·         Physik Instrumente  E-509.S3

·         Physik Instrumente  E-518.I3

·         Physik Instrumente  P-616.3C

·         Physik Instrumente  E-727.3CD

·         Physik Instrumente  E-873.1AT

·         Physik Instrumente  H-825.D2A

·         Physik Instrumente  C-887.52

·         Physik Instrumente  E-841.55

·         Physik Instrumente  E-831.05

·         Physik Instrumente  E-841.55

·         Physik Instrumente  N-565.160

·         Physik Instrumente位移台