Vügtlin高精度热质量流量计和气体质量流量控制器

　　可靠的技术和行业标准接口使红y智能系列热质量流量计 (MFM) 和质量流量控制器 (MFC) 特别适用于气体输送系统和工厂工程应用中的测量和控制。

祁佳强 QQ：2850590582   手机：17744536447 电话：010-64714988-216 传真：010-64714988-668 邮件：tk5@handelsen.cn

　　技术规格 red-y 智能系列

　　测量范围

　　空气/全量度可自由选择 体型 1/4" 从 0 ...25 毫升/分钟到 0 ...60 ln/min (从 0 ...27 SCCM 到 0 ...64 SLPM)

　　体型 1/2" 从 0 ...60 ln/min 到 0 ...450 ln/min (从 0 ...65 SLPM 到 0 ...480 SLPM)

　　仪器版本

　　"标准"

　　经济解决方案 精度：±满量表的1.0%*

　　折屏比：1 ：50

　　"高性能"具有

　　最高的精度和对空比

　　(适用于 GSM < 200 ln/min (200 SLPM) /

　　GSC < 150 ln/min (150 SLPM) (空气) 精度：±满量表的0.3% = ±读数* 的 0.5%*

　　折屏比：1 ： 100

　　*模拟信号可能应用的附加误差 ±0.25%

　　性能数据

　　介质(实际气体校准) 空气*，O2*，N2，He，Ar，CO2，H2，CH4，C3H8(其他气体和气体混合物应要求)*O2

　　和N2用空气校准

　　响应时间 仪表 (GSM)： ± 80ms*;控制器 (GSC)：± 500ms*

　　*取决于设备配置，根据 SEMI 标准 E17-1011，

　　在优化条件下的 5-100% 范围

　　重复 ±满量表的 0.2%(根据 SEMI 标准 E56-0309)

　　长期稳定 < 测量值/年数的 1%

　　电源 24 Vdc (18 + 30 Vdc)，15 Vdc 应要求提供

　　当前消耗标准 仪表 (GSM)： 最大 100 mA;控制器 (GSC)：最大 250

　　mA(阀型 8 的 GSC 最大 490mA)

　　当前消费 Profinet Rt / EtherCAT 仪表 (GSM)： 最大 125 mA;控制器 (GSC)：最大 340

　　mA(阀类型为 8 的 GSC 最大 560mA)

　　工作压力 0.2 × 11 bar a (3 × 160 psia) / GSC，阀型 4.5 和 8 最大 8 bar a (120 psia)

　　温度(环境/气体) 0 ~ 50°C (32 × 122°F)

　　车身材料 阳极氧化铝，可选不锈钢电抛光

　　密封 Fkm， EPDM， 可选 FFKM

　　压力灵敏度 < 0.2% / 柱阅读(典型 N2)

　　温度灵敏度 每 1°C 0.025% FS 测量范围类型(每 1°C 的 0.012%<0.012%)

　　热身时间 < 1 秒，全精度

　　集成与安装

　　输出信号模拟 0-20 mA， 4-20 mA， 0-5 V， 1-5 V， 0-10 V， 2-10 V

　　输出信号数字 RS-485;莫德布斯R2U(奴隶);Labview - 2s 可用

　　选项： Profibus Dp - v0， Dp - v1 / Profinet Rt / Ethercat

　　过程连接 G1/4" (BSPP* 母)高达 60 ln/min (64 SLPM)

　　G1/2" (BSPP* 母) 高达 450 ln/min (480 SLPM)

　　*英国标准管道平行

　　入口部分 无需任何

　　电气连接 子 D 插头，9 极

　　安装方向 任何位置(咨询 5 柱以上或垂直安装制造商)

　　安全

　　测试压力 16 巴拉 (240 psia)

　　泄漏率 < 1 x 10-6 mbar l/s 他

　　入口保护类 IP50

　　Emc EN 61326-1

M-FLOWNS 1.0

　　M-FLOWNS 1.5

　　M-FLOWNS 2.0

　　M-FLOWNS 2.5

　　M-FLOWNS 3.0

　　M-FLOWNS 4.0

　　M-FLOWNS 6.5

　　 GCM-A9EA-BN00

　　 GCM-C3EA-BN00

　　 GCM-B5SA-BN00

　　 GSM-A3SA-BN00

　　 GCM-D4EA-BN00