德国 PI V-738 PIMag精密XY位移平台

通光孔径，高运动精度和稳定性，磁力直接驱动

行程为102毫米×102毫米(4")

单向重复精度达0.1微米

三相线性电机

大孔径，150毫米×150毫米

速度达500毫米/秒

高分辨率增量线性编码器

PIMag磁力直接驱动

三相磁性直接驱动器在动力传动系统中未使用机械零件，其可直接将驱动力传输至运动平台，且无摩擦。驱动器可实现高速度和高加速度。 无铁芯电机非常适合对精度有超高要求的定位任务，因为其不会与永久性磁铁发生不良作用。这样即使在最低的速度下也能保持平稳的运行，同时，在高速状态下也不会产生振动。避免了控制的非线性行为并且每个位置都很容易控制。驱动力可任意设定。

增量编码器用于高精度位置测量

非接触式光学编码器以极高的精度直接在平台上测量位置。非线性效应、机械作用或弹性形变不会对测量造成影响。

可按需提供其他行程。

再循环滚珠轴承

再循环滚珠轴承经过认真组装后，具有高负载能力、长使用寿命、使用免保养和高导向精度等多种特点。平台的移动部件由在两个导轨上移动的四个预加载线性球形轴承支持。每个轴承单元由两个独立的循环滚珠轴承组成。

应用领域

医药行业, 激光切割, 扫描, 生物技术, 计量, AOI（自动光学检验）, 显微镜

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