德国Physik Instrumente XYZ轴定位平台P-733.3

　　德国Physik Instrumente XYZ轴定位平台P-733.3

　　带孔径的高精度 XYZ 扫描仪

　　旅行范围为 100 μm × 100 μm X、Y 和 Z 中的 10 μm

　　电容式传感器的分辨率为 0.1 nm

　　高速版本与直接驱动

　　超高真空兼容和非磁性版本应要求

　　用于更高精度和动态的并行运动学

　　指导错误主动补偿的平行计量

　　零播放、高精度柔性制导系统

　　用于传输光应用的光圈 50 毫米× 50 毫米

　　应用字段

　　扫描显微镜

　　聚焦显微镜

　　面膜/晶圆定位

　　表面测量技术

　　纳米印花

　　微操纵

　　图像处理/稳定

　　具有高平整度和运动直度的纳米定位

　　带电容传感器的子纳米分辨率

　　电容式传感器在不接触的情况下使用亚纳米分辨率进行测量。它们保证了 kHz 范围内出色的运动线性、长期稳定性和带宽。

　　自动配置和快速组件交换

　　力学和控制器可以根据需要进行组合并快速交换。所有伺服和线性化参数都存储在力学 D 子连接器的 ID 芯片中。每次打开控制器时，数字控制器的自动校准功能都会使用此数据。

　　杰出的一生感谢事先知情同意压子执行器

　　获得专利的PICMA压电执行器均为全陶瓷绝缘。这样可以防止因泄漏电流增加而导致的湿度和故障。PICMA执行器的使用寿命是传统聚合物绝缘执行器的十倍。1000亿个周期没有一次失败被证明。

　　由于零播放弹性指南，指导精度高

　　Flexure 指南不含维护、摩擦和磨损，不需要润滑。它们的刚度允许高负载容量，并且对冲击和振动麻木不仁。它们 100% 真空兼容，在宽温范围内工作。

　　由于平行位置测量，纳米范围内的跟踪精度很高

　　所有自由度都是用一个固定的参考来衡量的。轴之间不受欢迎的相声可以实时(取决于带宽)得到积极补偿(主动引导)。即使在动态操作中，纳米范围内也会实现高跟踪精度。

　　公司简介

　　在过去的五十年里，PI已经发展成为纳米定位技术的领先制造商。创业行为的关键要素和动机始终不变：为客户找到最佳解决方案。

　　金石宇#157-1149-6495;QQ-285-059-0587

　　PI 以其产品质量而闻名，多年来一直是全球精密定位技术市场的领先者之一。其中最重要的组成部分之一是国际 PI 家族中的团队精神，这种团队精神基于超越国际边界和职能限制的相互理解和支持。

　　PI 是一家健康发展的私营公司，在全球拥有 1000 多名员工，是一个灵活、垂直整合的组织，使 PI 能够满足创新精密定位技术领域的几乎所有要求。PI 的首要任务是成为客户可靠且高素质的合作伙伴。

　　PI Group 能够准确响应客户的需求：具体要求通常只能通过定制解决方案来满足，而解决方案只能通过非常规和创造性的思维才能找到。

　　这意味着客户：

　　训练有素的专家的个人咨询

　　可持续备件服务和供应能力

　　已发送的每个定位系统的资格

　　现场培训和个人支持

　　后销售服务

　　国际支持

　　工程专业知识

　　所有关键技术都是在内部开发的。PI 的技术范围使员工能够充分培养他们对技术的热情。从精密力学和电子学到定位传感器技术和 Pi 陶瓷和在 PI 陶瓷公司开发的执行器。技术的发展范围从基础到应用特定版本：最好的解决方案来自技术潜力，技术潜力来自多年积累的技术和相应的生产能力。

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　　2017年落成的新技术中心扩展并集中了开发和建设方面的能力和专业知识。

　　垂直生产范围和生产能力

　　现代化的生产管理和综合管理系统使 PI 能够保证其产品、工艺和服务的高质量。

　　组织和流程的不断完善是企业文化不可分割的一部分。KAIZEN 研讨会和积极的创新管理是实现这一目标的重要因素。

　　标准系列的生产工艺通过分形生产结构灵活，因此甚至可以制造具有全过程控制的大型系列。

　　主动的、基于系统的要求管理使得完全免除存储设施成为可能。

　　从两吨六角星到 10 克纳米定位器的产品频谱要求 PI 拥有其可处置的设备和技术，使系统能够制造、组装和合格。

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　　13.000平方米生产面积

　　真空技术

　　位置传感器的内部生产

　　气候和振动隔离测量条件

　　使用可追溯的外部校准测量设备进行计量

　　带起重和旋转装置的重型大厅

　　5.000 平方米清洁生产室

　　从材料组成到最终检查的压电执行器技术监测

　　分形制造组织

　　德国Physik Instrumente XYZ轴定位平台P-733.3

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