PI A-322 带空气轴承的PIglideHS平面扫描仪

分辨率为1纳米的XY定位系统

扫描应用的完美选择或精密定位

行程达500毫米 × 1000毫米

分辨率达1纳米

无尘室兼容

负载容量达245牛

速度高达2毫米/秒

PIglide参考级XY定位系统

PIglide HS平面扫描仪带磁性线性电机、真空预载和绝对编码器：非接触式无摩擦运动可实现最高精度和可靠性。

绝对编码器

绝对编码器提供明确的位置信息，帮助即刻确定位置。这意味着在接通期间无需定位，提高了操作过程中的效率和安全性。

PIMag®磁力直接驱动

三相磁性直接驱动器在动力传动系统中未使用机械零件，其可直接将驱动力传输至运动平台，且无摩擦。驱动器可实现高速度和高加速度。 无铁芯电机非常适合对精度有超高要求的定位任务，因为其不会与永久性磁铁发生不良作用。这样即使在最低的速度下也能保持平稳的运行，同时，在高速状态下也不会产生振动。避免了控制的非线性行为并且每个位置都很容易控制。驱动力可任意设定。

定位系统设计用于将产出最大化的同时确保最高精度。桥轴至龙门轴的挠性联轴器可实现侧向解耦，不会牺牲系统的刚性。

利用来自领先制造商的数字控制器，操作可提供高级控制算法，以改善动态性和误差补偿。

附件和可选配件

PIglide过滤器和空气预处理器

额外的轴

机器底座

花岗岩底座板和隔振系统

应用领域

PIglide定位系统非常适用于高精度应用，诸如计量、光子学和精密扫描以及半导体或平板显示器制造中的应用。

由于运动无摩擦，不会形成颗粒，PIglide平台非常适用于无尘室应用。

订购信息：

A-322.AB1  PIglide HS平面扫描仪，空气轴承，350 mm×350 mm行程，绝对编码器，1 nm传感器分辨率，3相直线电机，48 V

A-322.BB1  PIglide HS平面扫描仪，空气轴承，350 mm×500 mm行程，绝对编码器，1 nm传感器分辨率，3相直线电机，48 V

A-322.CB1  PIglide HS平面扫描仪，空气轴承，500 mm×500 mm行程，绝对编码器，1 nm传感器分辨率，3相直线电机，48 V

A-322.DB1  PIglide HS平面扫描仪，空气轴承，500 mm×1000 mm行程，绝对编码器，1 nm传感器分辨率，3相直线电机，48 V

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