PI A-123 带空气轴承的PIglideAT3线性平台

高性能纳米级定位平台

扫描应用的完美选择或精密定位

运动平台的尺寸210 毫米×210 毫米

分辨率达1纳米

无尘室兼容

行程50 毫米至750 毫米

产品概述

PIglide系列平台配备伺服驱动器线性电机，电机配置带预载的空气轴承和集成线性编码器。这类非接触式零件的组合形成了一个无摩擦运动平台，可提供最高的性能、质量和使用寿命。

高推动力线性电机可以在几毫秒内将平台驱动至最高速度，高承载能力轴承可支承重达60 公斤的有效载荷。该型号中的侧面相对、主动预载空气轴承设计可实现任意方向上的安装。

应用领域

PIglide定位系统非常适用于高精度应用，诸如半导体或平板显示器制造中的计量、光子学和精密扫描。

由于运动无摩擦，不会形成颗粒，PIglide平台非常适用于无尘室应用。

附件和可选配件

编码器

PIglide过滤器和空气预处理器

单轴和多轴运动控制器

XY装置和个性化配置

电缆轨道变型

用于垂直（Z）方向的配重选项

可提供定制版

花岗岩底座板和隔振系统

订购信息

A-123.050A1 PIglideAT3线性平台，空气轴承，50毫米行程，增量带正弦/余弦信号传输的线性编码器，20微米传感器信号周期，无 铁芯三相线性电机，48伏

A-123.050B1 PIglideAT3线性平台，空气轴承，50毫米行程，带BiSSC信号传输的绝对线性编码器，1纳米传感器分辨率，无铁芯三相线性电机，48伏

A-123.100A1 PIglideAT3线性平台，空气轴承，100毫米行程，增量带正弦/余弦信号传输的线性编码器，20微米传感器信号周期， 无铁芯三相线性电机，48伏

A-123.100B1 PIglideAT3线性平台，空气轴承，100毫米行程，带BiSSC信号传输的绝对线性编码器，1纳米传感器分辨率，无铁芯三相线性电机，48伏

A-123.150A1 PIglideAT3线性平台，空气轴承，150毫米行程，增量带正弦/余弦信号传输的线性编码器，20微米传感器信号周期， 无铁芯三相线性电机，48伏

A-123.150B1 PIglideAT3线性平台，空气轴承，150毫米行程，带BiSSC信号传输的绝对线性编码器，1纳米传感器分辨率，无铁芯三相线性电机，48伏

A-123.200A1 PIglideAT3线性平台，空气轴承，200毫米行程，增量带正弦/余弦信号传输的线性编码器，20微米传感器信号周期， 无铁芯三相线性电机，48伏

A-123.200B1 PIglideAT3线性平台，空气轴承，200毫米行程，带BiSSC信号传输的绝对线性编码器，1纳米传感器分辨率，无铁芯三相线性电机，48伏

A-123.350A1 PIglideAT3线性平台，空气轴承，350毫米行程，增量带正弦/余弦信号传输的线性编码器，20微米传感器信号周期， 无铁芯三相线性电机，48伏

A-123.350B1 PIglideAT3线性平台，空气轴承，350毫米行程，带BiSSC信号传输的绝对线性编码器，1纳米传感器分辨率，无铁芯三相线性电机，48伏

A-123.500A1 PIglideAT3线性平台，空气轴承，500毫米行程，增量带正弦/余弦信号传输的线性编码器，20微米传感器信号周期， 无铁芯三相线性电机，48伏

A-123.500B1 PIglideAT3线性平台，空气轴承，500毫米行程，带BiSSC信号传输的绝对线性编码器，1纳米传感器分辨率，无铁芯三相线性电机，48伏

A-123.750A1 PIglideAT3线性平台，空气轴承，750毫米行程，增量带正弦/余弦信号传输的线性编码器，20微米传感器信号周期， 无铁芯三相线性电机，48伏

A-123.750B1 PIglideAT3线性平台，空气轴承，750毫米行程，带BiSSC信号传输的绝对线性编码器，1纳米传感器分辨率，无铁芯三相线性电机，48伏

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