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PI 带空气轴承的PIglide RL薄型旋转平台

    

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品牌PI 有效期至2022-04-22 [已过期] 最后更新2021-04-22 11:41
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PI 带空气轴承的PIglide RL薄型旋转平台

PI 带空气轴承的PIglide RL薄型旋转平台

无摩擦,电动

 

A-63x

200毫米或300毫米运动平台直径

薄型,60毫米

偏心和平整度<100 nm

静止时可以通过磁性预载自锁

 

产品总览

PIglide RL系列的直接驱动式薄型旋转平台采用薄型设计,可实现最高的精度。

可以组合各种选项来创建理想的解决方案,以实现点对点索引或恒速扫描。

RL位移台提供卓越的行程精度,平坦度和摆动性能。

 

三相扭矩电动机

无刷

无插槽

低齿槽转矩

 

绝对编码器(可选)

绝对值编码器提供明确的位置信息,可立即确定位置。 这意味着在接通过程中不需要引用,从而提高了操作期间的效率和安全性。

 

配件和选件

增量或绝对编码器

真空穿通

在静止状态下通过电磁预载自锁

PIglide过滤器和空气制备套件

单轴或多轴运动控制器和伺服驱动器

多轴/定制设计

由花岗岩制成的底板和减少振动的系统

 

应用领域

光学对准,晶片检查,晶片对准,测量技术,检查系统,校准,扫描。

由于无摩擦运动,不会形成任何颗粒,这使PIglide工作台非常适合无尘室应用。

 

订购信息:

A-635.A100

PIglide RL旋转平台,空气轴承,200 mm运动平台直径,低高度,带正弦/余弦信号传输的角度测量系统,31488线/转,无槽,无刷三相扭矩电动机

 

A-635.B100

PIglide RL旋转平台,空气轴承,200 mm运动平台直径,低高度,带BiSS-C信号传输的绝对角度测量系统,传感器分辨率为0.0015μrad,无槽,无刷三相扭矩电动机

 

A-637.A100

PIglide RL旋转平台,空气轴承,运动平台直径300 mm,低高度,带正弦/余弦信号传输的角度测量系统,47200线/转,无槽,无刷三相扭矩电动机

 

A-637.B100

PIglide RL旋转平台,空气轴承,运动平台直径300 mm,低高度,带BiSS-C信号传输的绝对角度测量系统,传感器分辨率为0.0015μrad,无槽,无刷三相扭矩电动机

PI 带空气轴承的PIglide RL薄型旋转平台
张艳琴
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