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PI动态纳米定位器P-363系列参数

    

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品牌PI 有效期至长期有效 最后更新2021-04-23 13:51
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PI动态纳米定位器P-363系列参数

  PI动态纳米定位器P-363系列参数

P-363 笔克管 XY (Z) 皮佐扫描仪

用于扫描探针显微镜的动态纳米定位器

· 用于自动对焦 /SPM 的超高性能闭环扫描仪

· 用于生物/纳米技术的紧凑型操作工具

· 共振频率 9.8 kHz,PI动态纳米定位器吴亚男用于特别快速的扫描

· 引导误差自动补偿的并行测量技术

· 分辨率 50 象形仪

· 旅行范围 5 μm × 5 μm × 5 μm

 

 PI动态纳米定位器

 

P-363.3CD

P-363.2CD

单位

浮动值

活动轴

X、Y、Z

X, Y

 

 

运动和定位

 

 

 

 

集成传感器

电容的

电容的

 

 

旅行范围在 X, Y 在 -250 到 +250 V, 打开循环

±3

±3

μm

20%

Z 中的旅行范围为 -250 至 +250 V,打开环路

±2.7

-

μm

20%

X、Y、闭环旅行范围

±2.5

±2.5

μm

 

Z 中的旅行范围,闭环

±2.5

-

μm

 

分辨率,打开循环*

0.03

0.03

纳米

泰普

分辨率,闭环

0.1

0.1

纳米

 

线性错误

0.05

0.05

%

泰普

可重复性**

1

1

纳米

泰普

投/偏航在X,Y

0.5

0.5

乌拉德

泰普

以 Z 中运动倾斜

0.2

-

乌拉德

泰普

X、Y中的直度

3

3

纳米

泰普

X、Y中的平整度

•lt:10

•lt:10

纳米

泰普

Z中运动的相声

5

-

纳米

泰普

机械特性

 

 

 

 

X,Y中的共振频率,卸载

3.1

4.2

千 赫

±20%

Z中的共振频率,卸载

9.8

-

千 赫

±20%

X、Y负载下的共振频率

1.5 (20 克)

2.1 (20 克)

千 赫

±20%

负载容量

10

10

N

max

陶瓷类型

皮卡, 皮卡剪

皮卡剪切

 

 

杂项

 

 

 

 

工作温度范围

-20 至 80

-20 至 80

°C

 

材料

 

 

尺寸

30 毫米× 30 毫米× 40 毫米

30 毫米× 30 毫米× 28 毫米

 

 

质量

225

190

g

±5%

电缆长度

1.5

1.5

m

±10毫米

传感器/电压连接器

D-子 24W7 (m)

D-子 24W7 (m)

 

 

推荐电子产品

E-536

E-536

 

 

 

应用范围

· 扫描探针显微镜

· 原子力显微镜

· 扫描和筛选

由于零播放弹性指南,指导精度高

Flexure 指南不含维护、摩擦和磨损,不需要润滑。PI动态纳米定位器吴亚男 它们的刚度允许高负载容量,并且对冲击和振动麻木不仁。它们 100% 真空兼容,在宽温范围内工作。

由于平行位置测量,纳米范围内的跟踪精度很高

所有自由度都是用一个固定的参考来衡量的。PI动态纳米177定1858位3804器轴之间不受欢迎的相声可以实时(取决于带宽)得到积极补偿(主动引导)。即使在动态操作中,纳米范围内也会实现高跟踪精度。

带电容传感器的子纳米分辨率

电容式传感器在不接触的情况下使用亚纳米分辨率进行测量。它们保证了 kHz 范围内出色的运动线性、长期稳定性和带宽。

自动配置和快速组件交换

力学和控制器可以根据需要进行组合并快速交换。PI动态纳米177定1858位3804器 所有伺服和线性化参数都存储在力学 D 子连接器的 ID 芯片中。每次打开控制器时,数字控制器的自动校准功能都会使用此数据。

 PI位移台

德国本土采购,拼箱发货报关,德国技术,终身售后服务,货期保证,价格公道,欢迎垂询!如需更多信息欢迎垂询吴亚男
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PI动态纳米定位器P-363系列参数
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