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带空气轴承的PIglide RL薄型旋转平台

无摩擦，电动

A-63x

200毫米或300毫米运动平台直径

薄型，60毫米

偏心和平整度<100 nm

静止时可以通过磁性预载自锁

产品总览

PIglide RL系列的直接驱动式薄型旋转平台采用薄型设计，可实现最高的精度。

可以组合各种选项来创建理想的解决方案，以实现点对点索引或恒速扫描。

RL位移台提供卓越的行程精度，平坦度和摆动性能。

三相扭矩电动机

无刷

无插槽

低齿槽转矩

绝对编码器（可选）

绝对值编码器提供明确的位置信息，可立即确定位置。 这意味着在接通过程中不需要引用，从而提高了操作期间的效率和安全性。

配件和选件

增量或绝对编码器

真空穿通

在静止状态下通过电磁预载自锁

PIglide过滤器和空气制备套件

单轴或多轴运动控制器和伺服驱动器

多轴/定制设计

由花岗岩制成的底板和减少振动的系统

应用领域

光学对准，晶片检查，晶片对准，测量技术，检查系统，校准，扫描。

由于无摩擦运动，不会形成任何颗粒，这使PIglide工作台非常适合无尘室应用。

订购信息：

A-635.A100

PIglide RL旋转平台，空气轴承，200 mm运动平台直径，低高度，带正弦/余弦信号传输的角度测量系统，31488线/转，无槽，无刷三相扭矩电动机

A-635.B100

PIglide RL旋转平台，空气轴承，200 mm运动平台直径，低高度，带BiSS-C信号传输的绝对角度测量系统，传感器分辨率为0.0015μrad，无槽，无刷三相扭矩电动机

A-637.A100

PIglide RL旋转平台，空气轴承，运动平台直径300 mm，低高度，带正弦/余弦信号传输的角度测量系统，47200线/转，无槽，无刷三相扭矩电动机

A-637.B100

PIglide RL旋转平台，空气轴承，运动平台直径300 mm，低高度，带BiSS-C信号传输的绝对角度测量系统，传感器分辨率为0.0015μrad，无槽，无刷三相扭矩电动机

德国PI公司是精密运动和定位领域的全球解决供应商。

PI不仅开发和生产各种定位平台和执行器，用于线性、旋转和垂直运动或不同轴的组合。PI因此将这些解决方案适应客户特定的应用或提供用于运动和定位的成品子系统。

产品系列：

纳米定位压电柔性铰链平台、微型平台、线性平台、线性促动器、旋转台、XY位移平台、六足位移台、快速多通道光子学对准系统

、运动控制软件

应用范围：

汽车、科学设备、半导体技术、显微镜、硅光子、医疗技术、材料研究、机械工程、自动化、高能束线设备、增材制造