品牌PI | 有效期至长期有效 | 最后更新2021-09-10 17:35 |
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P-911K PI超高真空兼容型位移台
P-911K PI超高真空兼容型位移台
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产品描述
超紧凑型 超高真空兼容至10-9百帕 无磁性 超高精度柔性铰链接头
负载能力达1.5公斤 行程达1.5毫米/2度 带NEXLINE®压电步进驱动器
空间节约型并联运动设计可实现低于90毫米的总高度和仅100毫米的直径。NEXLINE®压电步进电机驱动器和集成式增量传感器可在线性轴上确保低至0.1微米的位置分辨率
规格
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P-911KNMV小型六足位移台 |
X、Y、Z:1.5毫米 θX, ΘY, ΘZ: 2° |
1.5千克 |
0.1微米 |
外径:100毫米 高度:90毫米
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