德国PI (Physik Instrumente)P-313 PicoCubeXY(Z)压电扫描仪

德国PI公司是精密运动和定位领域的全球解决供应商。

PI不仅开发和生产各种定位平台和执行器，用于线性、旋转和垂直运动或不同轴的组合。PI因此将这些解决方案适应客户特定的应用或提供用于运动和定位的成品子系统。

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产品系列：

纳米定位压电柔性铰链平台

微型平台

线性平台

线性促动器

旋转台

XY位移平台

六足位移台

快速多通道光子学对准系统

运动控制软件

应用范围：

汽车、科学设备、半导体技术、显微镜、硅光子、医疗技术、材料研究、机械工程、自动化、高能束线设备、增材制造

P-313 PicoCubeXY(Z)压电扫描仪

皮米级精度，高带宽，用于扫描探针显微镜

§ 用于AFM / SPM的高线性扫描仪

§ 分辨率高达20皮米，滞后小于1 纳米

§ 闭环驱动概念带来最高带宽

§ 用于生物技术/纳米技术的最高精度操 纵工具

§ 谐振频率为4.0千赫兹（X、Y）、11 千 赫兹 （Z）

§ 行程1微米×1微米×0.6微米

应用领域

·         扫描探针显微镜

·         原子力显微镜

·         扫描和筛选

并联运动实现高动态多轴操作

在并联多轴系统中，所有促动器作用于同一个运动平台。所有轴具有最小的质量惯性和相同的设计，可实现快速、动态和精密的运动。

零间隙柔性铰链导向带来高导向精度

柔性铰链导向无需维护、无摩擦、无磨损，无需润滑。它们的刚性可实现高负载能力，且它们对冲击和振动不敏感。它们百分百真空兼容，可在很广的温度范围内工作。

订购信息

P-313.30L

高线性 PicoCube XYZ向纳米定位器和扫描器，1微米 × 1微米 × 0.6微米，开环，LEMO连接器

P-313.30D

高线性 PicoCube XYZ向纳米定位器和扫描器，1微米 × 1微米 × 0.6微米，开环，Sub-D连接器