PI (Physik Instrumente)NEXACTOEM小型线性电机/促动器N-310

NEXACTOEM小型线性电机/促动器

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紧凑，快速，具有长行程，PiezoWalk原理

N-310

§ 行程为10至125毫米，动轮长度可变

§ 紧凑型设计，经济划算的设计

§ 分辨率达0.03纳米

§ 力量生成达10牛

应用领域

§ 工业级精度定位

§ 半导体技术

§ 半导体测试

§ 晶圆检测

§ 平版印刷术

§ 纳米压印

§ 纳米测量

§ 强磁场和真空中运动

采用PiezoWalk步进驱动实现纳米精度和大进给力

数个压电陶瓷促动器在PiezoWalk步进驱动中执行步进运动，将动轮向前推进。促动器控制允许以远低于一纳米的分 辨率进行最小步进和推进运动。

增量编码器用于高精度位置测量

非接触式光学线性编码器以极高的精度直接在平台上测量位置。非线性效应、机械作用或弹

性形变不会对测量造成影 响。

适用于复杂真空应用

PI的压电电机原则上是真空兼容的，并且适合在强磁场中运行。驱动器的特殊版本适于此目的。压电陶瓷步进驱动器 还可用于有较强紫外线辐射的无尘室或环境中。

订购信息

N-310.10

NEXACT OEM线性驱动器，10毫米，10牛

N-310.101

NEXACT OEM线性驱动器，10毫米，10牛，偏移电缆出口

N-310.11

NEXACT OEM线性驱动器，20毫米，10牛

N-310.111

NEXACT OEM线性驱动器，20毫米，10牛，偏移电缆出口

N-310.12

NEXACT OEM线性驱动器，30毫米，10牛

N-310.121

NEXACT OEM线性驱动器，30毫米，10牛，偏移电缆出口

N-310.13

NEXACT OEM线性驱动器，50毫米，10牛

N-310.131

NEXACT OEM线性驱动器，50毫米，10牛，偏移电缆出口

N-310.14

NEXACT OEM线性驱动器，75毫米，10牛

N-310.141

NEXACT OEM线性驱动器，75毫米，10牛，偏移电缆出口

N-310.15

NEXACT OEM线性驱动器，100毫米，10牛

N-310.151

NEXACT OEM线性驱动器，100毫米，10牛，偏移电缆出口

N-310.16

NEXACT OEM线性驱动器，125毫米，10牛

N-310.161

NEXACT OEM线性驱动器，125毫米，10牛，偏移电缆出口

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