PI (Physik Instrumente)S-303 压电移相器

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S-303 压电移相器

带直接计量选项的高速压电移相器

谐振频率为25千赫兹，可实现亚毫秒级的动态

行程为3微米

带孔径的开环版本

电容式传感器选项可实现最高的线性度和稳定性

紧凑尺寸：直径为30毫米×10毫米

殷钢选项可实现最高的热稳定性

应用领域

（菲索）干涉仪

光学纳米操作和检查

扫描显微镜

PICMA压电陶瓷促动器带来超长使用寿命

专利的PICMA压电陶瓷促动器为全瓷绝缘。这可以防潮，避免漏电流增大造成故障。PICMA促动器的使用寿命比传统的聚合物绝缘促动器长达十倍。它们被证明可实现无故障运行1000亿个循环。

带电容式传感器，实现亚纳米分辨率

电容式传感器以亚纳米分辨率进行测量，且无接触。它们可确保优异的运动线性、长期稳定性和千赫兹范围的带宽。

直接位置测量带来最大精度

运动直接在运动平台上测量，完全不受驱动或导向元件的影响。这样可以实现最佳的重复精度、优异的稳定性和刚性、快速响应控制。

订购信息

S-303.0升

压电移相器，3 µm，无传感器

S-303光盘

压电移相器，3 µm，电容传感器

S-303.0LI

压电移相器，3 µm，无传感器，殷钢

S-303.CDI

压电移相器，3 µm，电容传感器，Invar

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