德国PI 纳米定位平台P-561 • P-562 • P-563 PIMars

德国PI 纳米定位平台P-561 • P-562 • P-563 PIMars


用于多达3轴的高精度纳米定位系统

§ 并联运动实现更快的响应时间和更高的 多轴精度

谭晶 QQ：2853369887   手机：18518172492 电话：010-64717020-116 传真：010-84786709-666 邮件：sales9@handelsen.cn

§ 行程达300 × 300 × 300微米

§ 电容式传感器带来最高线性度

§ 零间隙，高精度柔性铰链导向系统

§ 优异的扫描平面度

§ 高动态XYZ版本

§ 通孔尺寸66 毫米×66毫米

§ PICMA压电陶瓷促动器带来超长使用寿 命

§ 超高真空版本达10-9百帕

描述

应用领域

·         扫描显微镜

·         掩模/晶圆定位

·         干涉测量

·         测量技术

·         生物技术

·         扫描和筛选

带电容式传感器，实现亚纳米分辨率

电容式传感器以亚纳米分辨率进行测量，且无接触。它们可确保优异的运动线性、长期稳定性和千赫兹范围的带宽。

自动配置和快速部件更换

机械部件和控制器可按需组合、快速更换。所有伺服和线性化参数均存储在机械部件的Sub-D连接器的ID芯片中。每当控制器启动时，数字控制器的自动校准功能就会使用这些数据。

适用于复杂真空应用

压电陶瓷系统中使用的所有部件均非常适合于在真空中使用。操作无需润滑剂或润滑脂。无聚合物的压电陶瓷系统可实现极低的排气率。

PICMA压电陶瓷促动器带来超长使用寿命

专利的PICMA压电陶瓷促动器为全瓷绝缘。这可以防潮，避免漏电流增大造成故障。PICMA促动器的使用寿命比传统的聚合物绝缘促动器长达十倍。它们被证明可实现无故障运行1000亿个循环。

零间隙柔性铰链导向带来高导向精度

柔性铰链导向无需维护、无摩擦、无磨损，无需润滑。它们的刚性可实现高负载能力，且它们对冲击和振动不敏感。它们百分百真空兼容，可在很广的温度范围内工作。

并联位置测量实现纳米级的高跟踪精度

各自由度均相对于单一固定参考进行了测量。对其他轴的不良运动串扰均可得到实时主动补偿（取决于带宽）（主动导向）。即使在动态操作中，跟踪精度也可高达纳米级。

订购信息

P-561.3CD

具有长行程的PIMars XYZ向纳米定位系统，100 微米 × 100 微米 × 100 微米，Sub-D连接器，电容传感器，平行计量

P-561.3CL

具有长行程的PIMars XYZ向纳米定位系统，100 微米 × 100 微米 × 100 微米，LEMO连接器，电容传感器，平行计量

P-561.3DD PIMars高动态XYZ向纳米定位系统，45 微米 × 45 微米 × 15 微米，电容传感器，平行计量，Sub-D连接器，直接驱动

P-562.3CD

具有长行程的PIMars XYZ向纳米定位系统，200 微米 × 200 微米 × 200 微米，Sub-D连接器，电容传感器，平行计量

P-562.3CL

具有长行程的PIMars XYZ向纳米定位系统，200 微米 × 200 微米 × 200 微米，LEMO连接器，电容传感器，平行计量

P-563.3CD

具有长行程的PIMars XYZ向纳米定位系统，300 微米 × 300 微米 × 300 微米，Sub-D连接器，电容传感器，平行计量

P-563.3CL

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北京汉达森德国本土采购，拼箱发货报关，德国技术支持，终身售后服务，货期保证，价格公道，欢迎垂询!如需更多信息欢迎垂询汉达森品牌专员谭晶18518172492。