PI (Physik Instrumente)多轴压电陶瓷扫描仪P-517 • P-527

P-517 • P-527 多轴压电陶瓷扫描仪

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高动态纳米定位器/带直接位置测量的扫描器

§ 2轴和3轴版本（XY和XYθZ型）

§ 行程达200 微米

§ 亚纳米级分辨率

应用领域

·         计量

·         干涉测量

·         光子学/集成光学

·         平版印刷术

·         纳米定位

·         扫描显微镜

·         样本对准

·         微加工

带电容式传感器，实现亚纳米分辨率

电容式传感器以亚纳米分辨率进行测量，且无接触。它们可确保优异的运动线性、长期稳定性和千赫兹范围的带宽。

自动配置和快速部件更换

机械部件和控制器可按需组合、快速更换。所有伺服和线性化参数均存储在机械部件的Sub-D连接器的ID芯片中。每当控制器启动时，数字控制器的自动校准功能就会使用这些数据。

PICMA压电陶瓷促动器带来超长使用寿命

专利的PICMA压电陶瓷促动器为全瓷绝缘。这可以防潮，避免漏电流增大造成故障。PICMA促动器的使用寿命比传统的聚合物绝缘促动器长达十倍。它们被证明可实现无故障运行1000亿个循环。

零间隙柔性铰链导向带来高导向精度

柔性铰链导向无需维护、无摩擦、无磨损，无需润滑。它们的刚性可实现高负载能力，且它们对冲击和振动不敏感。它们百分百真空兼容，可在很广的温度范围内工作。

并联位置测量实现纳米级的高跟踪精度

各自由度均相对于单一固定参考进行了测量。对其他轴的不良运动串扰均可得到实时主动补偿（取决于带宽）（主动导向）。即使在动态操作中，跟踪精度也可高达纳米级。

订购信息

P-517.2CL

精密XY向纳米定位系统，100 微米 × 100微米，电容传感器，平行计量，LEMO连接器

P-517.2CD

精密XY向纳米定位系统，100 微米 × 100微米，电容传感器，平行计量，Sub-D连接器

P-527.2CL

精密XY向纳米定位系统，200 微米 × 200 微米，电容传感器，平行计量，LEMO连接器

P-527.2CD

精密XY向纳米定位系统，200 微米 × 200 微米，电容传感器，平行计量，Sub-D连接器

P-517.3CL

精密XYZ向纳米定位系统，100 微米 × 100 微米 × 20 微米，LEMO连接器，电容传感器，平行计量

P-517.3CD

精密XYZ向纳米定位系统，100 微米 × 100 微米 × 20 微米，Sub-D连接器，电容传感器，平行计量

P-527.3CL

精密XYZ向纳米定位系统，200 微米 × 200 微米 × 20 微米，LEMO连接器，电容传感器，平行计量

P-527.3CD

精密XYZ向纳米定位系统，200 微米 × 200 微米 × 20 微米，Sub-D连接器，电容传感器，平行计量

P-517.RCD

精密XY向/旋转纳米定位系统，100 微米 × 100 微米，2 毫弧度，电容传感器，平行计量，Sub-D连接器

P-527.RCD

精密XY向/旋转纳米定位系统，200 微米 × 200 微米，4 毫弧度，电容传感器，平行计量，Sub-D连接器