PI (Physik Instrumente)压电陶瓷纳米定位器P-733.2 XY

谭晶 QQ：2853369887   手机：18518172492 电话：010-64717020-116 传真：010-84786709-666 邮件：sales9@handelsen.cn

P-733.2 XY压电陶瓷纳米定位器

具有孔径的高精度XY扫描仪

P-733.2

§ X和Y向上的行程达100微米×100微米

§ 电容式传感器使分辨率达0.1纳米

§ 带直接驱动器的高速版本

§ 可提供真空兼容和非磁性版本

§ 并联运动实现更高精度和动态

§ 导向误差主动补偿的并行计量

§ 零间隙，高精度柔性铰链导向系统

§ 50毫米×50毫米的通光孔径用于透射光 应用

应用领域

·         扫描显微镜

·         共聚焦显微镜

·         掩模/晶圆定位

·         表面测量技术

·         纳米压印

·         显微操纵

·         图像处理/稳定

·         高运动平面度和直线度的纳米定位

带电容式传感器，实现亚纳米分辨率

电容式传感器以亚纳米分辨率进行测量，且无接触。它们可确保优异的运动线性、长期稳定性和千赫兹范围的带宽。

自动配置和快速部件更换

机械部件和控制器可按需组合、快速更换。所有伺服和线性化参数均存储在机械部件的Sub-D连接器的ID芯片中。每当控制器启动时，数字控制器的自动校准功能就会使用这些数据。

并联运动实现高动态多轴操作

在并联多轴系统中，所有促动器作用于同一个运动平台。所有轴具有最小的质量惯性和相同的设计，可实现快速、动态和精密的运动。

PICMA压电陶瓷促动器带来超长使用寿命

专利的PICMA压电陶瓷促动器为全瓷绝缘。这可以防潮，避免漏电流增大造成故障。PICMA促动器的使用寿命比传统的聚合物绝缘促动器长达十倍。它们被证明可实现无故障运行1000亿个循环。

零间隙柔性铰链导向带来高导向精度

柔性铰链导向无需维护、无摩擦、无磨损，无需润滑。它们的刚性可实现高负载能力，且它们对冲击和振动不敏感。它们百分百真空兼容，可在很广的温度范围内工作。

直接位置测量带来最大精度

运动直接在运动平台上测量，完全不受驱动或导向元件的影响。这样可以实现最佳的重复精度、优异的稳定性和刚性、快速响应控制。

适用于复杂真空应用

压电陶瓷系统中使用的所有部件均非常适合于在真空中使用。操作无需润滑剂或润滑脂。无聚合物的压电陶瓷系统可实现极低的排气率。

订购信息

带直接驱动器

P-733.2DD

高动态精密XY向纳米定位系统，30 微米 × 30 微米，直接驱动，电容传感器，平行计量，Sub-D连接器

带Sub-D连接器（公头）的版本

P-733.2CD

精密XY向纳米定位系统，100 微米 × 100 微米，电容传感器，平行计量，Sub-D连接器

带LEMO连接器的版本

P-733.2CL

精密XY向纳米定位系统，100 微米 × 100 微米，电容传感器，平行计量，LEMO连接器

配件

P-733.AP1 接装板用于将P-733 压电工作台安装在M-545 XY位移平台上

线性定位器，真空兼容达10-9百帕

P-733.2VL

精密XY向纳米定位系统，100微米 × 100微米，电容传感器，平行计量，LEMO连接器，真空兼容至10-6百帕

P-733.2VD

精密XY向纳米定位系统，100微米 × 100微米，电容传感器，平行计量，Sub-D连接器，真空兼容至10-6百帕

P-733.2UD

精密XY向纳米定位系统，100微米 × 100微米，电容传感器，平行计量，Sub-D连接器，真空兼容至10-9百帕

我们的优势：

1）渠道广泛，国内有代理，或者有客户保护厂家不卖的产品，只要您能提供型号，我们同样可以从德国的分销商来采购。

2）价格合理，绕过层层代理，最大限度的让利给客户。

3）直接从德国厂家采购，保证所有产品均为原装正品。

4）德国仓库每周三统一拼箱发货，极大节约了物流成本。

5）德国工程师为您提供专业的售前及售后技术咨询服务。

北京汉达森德国本土采购，拼箱发货报关，德国技术支持，终身售后服务，货期保证，价格公道，欢迎垂询!如需更多信息欢迎垂询汉达森品牌专员谭晶18518172492。