德国PI-P-541.2 • P-542.2 XY压电工作台参数

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P-541.2 • P-542.2 XY压电工作台

§ 低外形、易于集成：16.5毫米

§ 孔径为80 毫米 × 80 毫米

§ 行程达200 微米 × 200 微米

§ 并联运动实现更快的响应时间和更高的 多轴精度

§ 高动态直接驱动版本

§ 传感器技术：价格实惠的应变片传感器 或可实现更高性能的电容式传感器

§ PICMA压电陶瓷促动器带来超长使用寿 命

§ 可与显微镜平台组合实现更长行程

PI应用领域

§ 扫描显微镜

§ 高吞吐量显微镜

§ 超分辨率显微镜

§ 掩模/晶圆定位

§ 干涉测量

§ 测量技术

§ 生物技术

§ 显微操纵

PICMA压电陶瓷促动器带来超长使用寿命

专利的PICMA压电陶瓷促动器为全瓷绝缘。这可以防潮，避免漏电流增大造成故障。PICMA促动器的使用寿命比传统 的聚合物绝缘促动器长达十倍。它们被证明可实现无故障运行1000亿个循环。

带电容式传感器，实现亚纳米分辨率

电容式传感器以亚纳米分辨率进行测量，且无接触。它们可确保优异的运动线性、长期稳定性和千赫兹范围的带宽。

零间隙柔性铰链导向带来高导向精度

柔性铰链导向无需维护、无摩擦、无磨损，无需润滑。它们的刚性可实现高负载能力，且它们对冲击和振动不敏感。 它们百分百真空兼容，可在很广的温度范围内工作。

直接位置测量带来最大精度

运动直接在运动平台上测量，完全不受驱动或导向元件的影响。这样可以实现最佳的重复精度、优异的稳定性和刚性 、快速响应控制。

PI订购信息

P-541.2DD 带大孔径的XY向纳米定位系统，高动态直接驱动，45 微米 × 45微米，并联运动，电容传感器，Sub-D连接器

P-541.2CD 带大孔径的XY向纳米定位系统，100 微米 × 100 微米，并联运动，电容传感器，Sub-D连接器

P-541.2CL 带大孔径的XY向纳米定位系统，100 微米 × 100 微米，并联运动，电容传感器，LEMO连接器