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| 品牌ADL | 有效期至长期有效 | 最后更新2021-10-21 16:27 |
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德国 ADL 直流溅射电源 HX200/500 70A
常用产品介绍
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直流溅射电源GS 05 - GS 30
紧凑型设备已开发用于生产和实验室设施中较小的磁子。由于操作简单安全，电源可以非常灵活地使用。
弧形处理自动适应不同的过程参数，因此无需编程工作。这些设备设计用于安装在 19" 组件中。
输出功率0.5-3.0kW
空气 1/2 19" 内置住房， 3R
可互换接口模块
电压、电流和电源的数字显示屏
通过前面板手动操作
自动弧形处理
直流溅射电源GS 60–GS 150
GS 60 – GS 150 系列的气冷直流电源有三种操作变种：主动前面板、被动前面板和状态 LED。电源可在不限制切换时间的情况下全额定功率运行。
几个模块的并行操作是可能的。GS 60–GS 150系列，像所有ADL电源一样，具有极快的自动弧线取消。设备的操作非常简单和安全。
输出功率 6.0 - 15kW
空气
19" 内置住房， 3U
无潜力输出
焦耳时尚
自动弧形处理
直流溅射电源GSW 100–GSW 300
可同时运行至240kW，可增加输出功率。有了特殊的电路概念，"主奴隶布线"可以免除。即使在非空调客房，高效的水冷却也可确保最大的可靠性。
这些设备可以通过活动前面板或界面手动操作。提供各种前面板和接口模块。极快的弧形处理完全自动工作，即使在并行操作中也不需要外部同步。
输出功率10-30kW
水冷却
19"住房， 3 U
电磁阀控制
无潜力输出
并行运行至240kW
自动弧形处理
直流溅射电源GX 50–GX 150
GX 溅射电源能够自动擦除高达每秒 80，000 个弧。极端性能，加上小尺寸，是GX系列的突出标志。
这些设备可以全额定功率运行，不受切换时间的限制，也可以并行连接。
输出功率5-15kW
水冷却
1/2 19" 住房， 3U
无潜力输出
焦耳时尚
自动弧形处理
直流溅射电源 HX 150 - HX 300
1/2 19"宽度和5U的极其紧凑的设计是专门为生产工厂开发的，其中将不配用控制柜。HX 具有安装选项卡，可直接集成到任何安装位置的系统中。
显示屏是旋转的，可以从设备中分离出来。即使在非空调客房，高效的水冷却也可确保最大的可靠性。为了避免凝结，可以通过集成温度控制连接外部电磁阀。
可同时运行至240kW，可增加输出功率。特殊的电路概念允许主奴隶操作和并行控制通过界面组合或Provibus。极快的弧形处理完全自动工作，因此无需设置参数。
输出功率 15kW 至 30kW
并行运行至240kW
水冷却
电磁阀控制
带灰尘颗粒分离器的住房通风
1/219" 住房， 5U
法兰格紧固件
M8 女线起重机小眼
可拆卸旋转显示屏
自动弧形处理
离子源电源
对于离子源（考夫曼和ECR）的操作，提供各种特殊设备，也可以根据要求提供其他输出电压或服务。
所有设备均可选择配备模拟接口或与 Profibus 连接。
脉冲发生器、选项和配件
PULSE 发电机 RD 300 与大多数 ADL 电源一起，按照共振开关原理工作。由于效率极高（30kW时为99.5%），该设备非常紧凑，只能产生最大150W的低耗电量。
现有系统可以很容易地进行改装，因为发电机与直流电源并行直接连接到阴极。该设备的工作频率为 2kHz。但是，使用外部信号发生器，频率可在 0.2 到 3kHz 之间变化。几个发电机可以通过控制线进行自动同步连接。
单极脉冲发生器 SD 30、SD 150 和 SD 300
脉冲发生器与ADL直流电源一起生成单极脉冲。这些设备的固定频率为 20kHz。使用外部信号发生器，频率变化范围从 1kHz 到 40kHz 不等。发电机具有自动电弧抑制。
行程级别和中断时间的参数会自动适应相应的过程。不需要用户通常的编程。几个发电机可以通过控制线进行同步连接。设备自动切换到外部同步。
输出功率 3 千瓦，15 千瓦，30 千瓦
并行运行至240千瓦
自动弧形处理
无潜力输出
自动同步
空气
非常紧凑的设计
法兰格紧固件
主要产品
主要产品
离子源电源
加速器
中和器
发射器
通讯模块
脉冲发生器
单极脉冲发生器
溅射电源
直流电源
直流溅射电源
中频双极型脉冲发生器
主要型号
ADL GG03
ADL GIP10
ADL GG12
ADL Profibus 2.547
ADL GS 05 – GS 30
ADL GS 60 – GS 150
ADL GSW 100 – GSW 300
ADL GX 50 – GX 150
ADL HX 150 – HX 300
ADL SD 30
ADL SD 150
ADL SD 300
ADL SB 300
ADL GSW 100/500
ADL GSW 100/800
ADL GSW 150/400
ADL GSW 150/500
ADL GS 60/800
ADL GS 80/800
ADL GSW 200/1000
ADL GX 50/800
ADL GX 60/800
ADL HX 150/400
ADL HX 150/500
ADL HX 150/800
ADL HX 150/1000
ADL HX 200/800
ADL GP 10/800
ADL GP 15/800
ADL GP 20/800
ADL GP 30/800
ADL GP 30/1000
ADL GP 60/800
ADL GP 100/800
ADL GP 120/800
ADL GP 150/800
ADL RD 300
ADL GG 03
ADL GG 03.1
ADL GG 12
ADL GG 12.1
