德国PI Physik Instrumente P-517 • P-527 多轴压电陶瓷扫描仪

2轴和3轴版本（XY和XYθZ型）

§ 行程达200 微米

§ 亚纳米级分辨率

 

应用领域

·         计量

·         干涉测量

·         光子学/集成光学

·         平版印刷术

·         纳米定位

·         扫描显微镜

·         样本对准

·         微加工

带电容式传感器，实现亚纳米分辨率

电容式传感器以亚纳米分辨率进行测量，且无接触。它们可确保优异的运动线性、长期稳定性和千赫兹范围的带宽。

自动配置和快速部件更换

机械部件和控制器可按需组合、快速更换。所有伺服和线性化参数均存储在机械部件的Sub-D连接器的ID芯片中。每当控制器启动时，数字控制器的自动校准功能就会使用这些数据。

PICMA压电陶瓷促动器带来超长使用寿命

专利的PICMA压电陶瓷促动器为全瓷绝缘。这可以防潮，避免漏电流增大造成故障。PICMA促动器的使用寿命比传统的聚合物绝缘促动器长达十倍。它们被证明可实现无故障运行1000亿个循环。

零间隙柔性铰链导向带来高导向精度

柔性铰链导向无需维护、无摩擦、无磨损，无需润滑。它们的刚性可实现高负载能力，且它们对冲击和振动不敏感。它们百分百真空兼容，可在很广的温度范围内工作。

并联位置测量实现纳米级的高跟踪精度

各自由度均相对于单一固定参考进行了测量。对其他轴的不良运动串扰均可得到实时主动补偿（取决于带宽）（主动导向）。即使在动态操作中，跟踪精度也可高达纳米级。

订购信息

 

P-517.2CL

精密XY向纳米定位系统，100 微米 × 100微米，电容传感器，平行计量，LEMO连接器

 

P-517.2CD

精密XY向纳米定位系统，100 微米 × 100微米，电容传感器，平行计量，Sub-D连接器

 

P-527.2CL

精密XY向纳米定位系统，200 微米 × 200 微米，电容传感器，平行计量，LEMO连接器

 

P-527.2CD

精密XY向纳米定位系统，200 微米 × 200 微米，电容传感器，平行计量，Sub-D连接器

 

P-517.3CL

精密XYZ向纳米定位系统，100 微米 × 100 微米 × 20 微米，LEMO连接器，电容传感器，平行计量

 

P-517.3CD

精密XYZ向纳米定位系统，100 微米 × 100 微米 × 20 微米，Sub-D连接器，电容传感器，平行计量

 

P-527.3CL

精密XYZ向纳米定位系统，200 微米 × 200 微米 × 20 微米，LEMO连接器，电容传感器，平行计量

 

P-527.3CD

精密XYZ向纳米定位系统，200 微米 × 200 微米 × 20 微米，Sub-D连接器，电容传感器，平行计量

 

P-517.RCD

精密XY向/旋转纳米定位系统，100 微米 × 100 微米，2 毫弧度，电容传感器，平行计量，Sub-D连接器

 

P-527.RCD

精密XY向/旋转纳米定位系统，200 微米 × 200 微米，4 毫弧度，电容传感器，平行计量，Sub-D连接器

P-561 • P-562 • P-563 PIMars纳米定位平台

用于多达3轴的高精度纳米定位系统

 

 

§ 并联运动实现更快的响应时间和更高的 多轴精度

§ 行程达300 × 300 × 300微米

§ 电容式传感器带来最高线性度

§ 零间隙，高精度柔性铰链导向系统

§ 优异的扫描平面度

§ 高动态XYZ版本

§ 通孔尺寸66 毫米×66毫米

§ PICMA压电陶瓷促动器带来超长使用寿 命

§ 超高真空版本达10-9百帕

 

描述

应用领域

·         扫描显微镜

·         掩模/晶圆定位

·         干涉测量

·         测量技术

·         生物技术

·         扫描和筛选

带电容式传感器，实现亚纳米分辨率

电容式传感器以亚纳米分辨率进行测量，且无接触。它们可确保优异的运动线性、长期稳定性和千赫兹范围的带宽。

自动配置和快速部件更换

机械部件和控制器可按需组合、快速更换。所有伺服和线性化参数均存储在机械部件的Sub-D连接器的ID芯片中。每当控制器启动时，数字控制器的自动校准功能就会使用这些数据。

适用于复杂真空应用

压电陶瓷系统中使用的所有部件均非常适合于在真空中使用。操作无需润滑剂或润滑脂。无聚合物的压电陶瓷系统可实现极低的排气率。

PICMA压电陶瓷促动器带来超长使用寿命

专利的PICMA压电陶瓷促动器为全瓷绝缘。这可以防潮，避免漏电流增大造成故障。PICMA促动器的使用寿命比传统的聚合物绝缘促动器长达十倍。它们被证明可实现无故障运行1000亿个循环。

零间隙柔性铰链导向带来高导向精度

柔性铰链导向无需维护、无摩擦、无磨损，无需润滑。它们的刚性可实现高负载能力，且它们对冲击和振动不敏感。它们百分百真空兼容，可在很广的温度范围内工作。

并联位置测量实现纳米级的高跟踪精度

各自由度均相对于单一固定参考进行了测量。对其他轴的不良运动串扰均可得到实时主动补偿（取决于带宽）（主动导向）。即使在动态操作中，跟踪精度也可高达纳米级。

订购信息

P-561.3CD

具有长行程的PIMars XYZ向纳米定位系统，100 微米 × 100 微米 × 100 微米，Sub-D连接器，电容传感器，平行计量

 

P-561.3CL

具有长行程的PIMars XYZ向纳米定位系统，100 微米 × 100 微米 × 100 微米，LEMO连接器，电容传感器，平行计量

 

P-561.3DD

PIMars高动态XYZ向纳米定位系统，45 微米 × 45 微米 × 15 微米，电容传感器，平行计量，Sub-D连接器，直接驱动

 

P-562.3CD

具有长行程的PIMars XYZ向纳米定位系统，200 微米 × 200 微米 × 200 微米，Sub-D连接器，电容传感器，平行计量

 

P-562.3CL

具有长行程的PIMars XYZ向纳米定位系统，200 微米 × 200 微米 × 200 微米，LEMO连接器，电容传感器，平行计量

 

P-563.3CD

具有长行程的PIMars XYZ向纳米定位系统，300 微米 × 300 微米 × 300 微米，Sub-D连接器，电容传感器，平行计量

 

P-563.3CL

具有长行程的PIMars XYZ向纳米定位系统，300 微米 × 300 微米 × 300 微米，LEMO连接器，电容传感器，平