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| 品牌IBS Precision Engineering | 有效期至长期有效 | 最后更新2022-04-13 10:08 |
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IBS光学干涉仪ARINNA AR50 用于3D表面拓扑测量
IBS光学干涉仪ARINNA AR50 用于3D表面拓扑测量
ARINNA能够测量离散的步高和表面质量，垂直分辨率为 <2nm。巨型像素摄像头可在 1 秒内捕获表面扫描。可用于在线缺陷检测和特征化、光学表面和结构测量、3D表面拓扑测量、MEMS/NEMS 检测等。
技术参数
| 李银 QQ：3636923259 手机：13390162006 电话：010-64714988-222 传真：010-64714988-668 邮件：tk6@handelsen.cn |
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Z 范围 （μm） 0,9
每次捕获 FOV （毫米） 0，11 x 0，11
Z 分辨率 （μm） 0,002
结果时间（秒） 1,5
工作距离（毫米）
分辨率为 15kHz 有色 0，02%，有色 0，02%
零/偏移调整 是的
典型的热漂移 0，04% F.S.*/C
LED 范围指示器 是的
ARINNA 是一种高速干涉仪，它结合了纳米级表面测量的优点、坚固性和小巧的占地面积，使其能够在您需要的地方进行在线测量。虽然干涉仪带来了速度、精度和无损测量的优势，但阶梯结构和嘈杂的环境通常是它们的局限性。ARINNA 并非如此。
ARINNA 采用的波长扫描技术避免了在测量头中进行机械扫描的需要，正如一些干涉测量系统所采用的那样。这克服了对测量速度和系统集成（例如头部 360 度定向的能力）的相关限制。对于在线使用，ARINNA 的设计中集成了获得专利的振动补偿技术。这种技术避免了对大型和/或复杂的隔离系统的需要；有时是高精度光学测量系统在现场应用的限制因素。
IBS光学干涉仪ARINNA AR50 用于3D表面拓扑测量
