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| 有效期至长期有效 | 最后更新2021-11-23 11:40 |
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瑞士INFICON分析仪TranspectorMPH
1、瑞士INFICON分析仪产品介绍
不断上涨的硅晶片价格和成品需求意味着报废晶片的成本比以往任何时候都高。因此，了解您的工艺并监控缺陷已成为半导体制造中心的重中之重。Transpector MPH气体分析系统旨在为您的所有气体分析应用提供行业领先的性能，以帮助最大限度地提高芯片产量并最大限度地减少工具停机时间。结合较低的总体拥有成本和较高的平均故障间隔时间，Transpector MPH比市场上任何其他残留气体分析仪(RGA)更能帮助您实现盈利。INFICON利用其在气体分析过程控制设备方面的专业知识，创建了具有行业领先数据收集速度、最小可检测分压和信噪比的RGA。所有这些都不会牺牲您对INFICON Transpector气体分析仪所期望的任何可靠性。
2、瑞士INFICON分析仪产品概述
随着制造技术的进步和质量标准的变化，了解您的过程和保持产品质量的需求比以往任何时候都更加重要。Transpector MPS可以通过监控过程条件、检测污染物和检查泄漏来帮助您优化过程。Transpector MPS以卓越的价值为他们的客户提供Transpector品牌RGA的强大性能。Transpector MPS有100 amu和200 amu两种版本，可让您灵活地执行各种功能，包括常规泄漏检测、真空诊断和碳氢化合物分析。这种多功能性Transpector MPS成为真空炉、热处理和真空镀膜应用的首选传感器。
3、瑞士INFICON分析仪产品特征
新型Transpector XPR 3+残留气体分析仪(RGA)提供行业领先的测量速度，以监测和控制现代半导体和显示器制造所需的快速过程变化。Transpector XPR 3+是现场漏气、气体纯度、碳氢化合物和污染监测的理想选择。与定期上升率测试相比，使用Transpector XPR 3+进行实时测量可提供远超卓著的产品保护。Transpector XPR 3+RGA是经过现场验证的四极杆和双离子源传感器，适用于溅射压力范围应用。无需压力转换设备、使用寿命长的组件以及快速检测和诊断问题的能力相结合，可最大限度地提高工具可用性、产品产量和产量。该传感器可以从高真空到20 mTorr连续运行，无需泵。Transpector XPR 3+双离子源腔室旨在限制涂层以保持离子源灵敏度并延长传感器的平均维护时间。
4、瑞士INFICON分析仪产品原理
十多年来，INFICON Transpector CPM一直是半导体行业市场领先的残留气体分析仪(RGA)过程监控系统。现在Transpector CPM 3通过与新传感器和电子设备集成的经过现场验证的泵和入口系统提供行业领先的测量速度和灵敏度。Transpector CPM 3是适用于ALD、CVD、PVD和蚀刻等新型和成熟半导体工艺的理想RGA工艺监控器。INFICON Transpector®单压采样(SPS)残留气体分析仪为目标高压工艺提供最佳的半晶圆和显示面板保护。Transpector SPS通过对单压力应用最灵敏的漏气和工艺污染检测来最大限度地减少晶圆和面板废料。它提供行业领先的检测限和测量速度，以确保晶圆和面板的质量和数量。Transpector SPS通过为稳定的高压过程提供最可靠的过程监控来最大化过程吞吐量和产量。
5、瑞士INFICON分析仪产品优势
仪器将简单且经济高效的入口系统与经过现场验证的离子源和泵组相结合，提供低风险和高回报的气体分析解决方案。适用于一般真空和工业应用，Transpector SPS是真空电弧重熔(VAR)等冶金和热处理应用的成熟解决方案。Transpector SPS是可配置的，可以根据特定应用和预算进行定制。对于从1E-4 Torr到大气压的采样过程压力，可选择标准孔板、毛细管和旁路管线组合。耐腐蚀的入口、离子源和泵组件专为在蚀刻、CVD、ALD和其他腐蚀性气体工艺中的生存而设计。
6、瑞士INFICON分析仪部分产品型号
①瑞士INFICONTranspectorMPH
②瑞士INFIConTranspector MPS
③瑞士INFIConTranspectorXPR 3+
④瑞士INFIConTranspectorCPM 3
⑤瑞士INFICONTranspectorSPS
⑥瑞士INFICONTranspectorCPM
⑦瑞士INFIConQMG 700
⑧瑞士INFIConInficon Quantus LP100
瑞士INFICON分析仪TranspectorMPH
