德国PI Physik Instrumente P-517.2CL 精密XY向纳米定位系统

　　德国PI Physik Instrumente P-517.2CL 精密XY向纳米定位系统
 

　　快速和高精度驱动器

 

　　光纤对准系统的基础是非常坚硬的设置，配有H-811六足机和P-616NanoCube®纳米定位仪。 用于自由度运动的平行运动学设计确保了高系统刚度。 电动驱动器可实现更长的行程范围，同时，NanoCube®纳米定位器可确保快速扫描运动和漂移效果的动态补偿。 柔性导轨和全陶瓷绝缘PICMA®执行器可确保较长的使用寿命。 因为所有驱动器都配备有位置传感器，所以例如可以可靠地防止与昂贵的硅晶片的碰撞。

 

　　

 

　　订购信息

 

　　P-517.2CL

 

　　精密XY向纳米定位系统，100 微米 × 100微米，电容传感器，平行计量，LEMO连接器

 

　　P-517.2CD

 

　　精密XY向纳米定位系统，100 微米 × 100微米，电容传感器，平行计量，Sub-D连接器

 

　　P-527.2CL

 

　　精密XY向纳米定位系统，200 微米 × 200 微米，电容传感器，平行计量，LEMO连接器

 

　　P-527.2CD

 

　　精密XY向纳米定位系统，200 微米 × 200 微米，电容传感器，平行计量，Sub-D连接器

 

　　P-517.3CL

 

　　精密XYZ向纳米定位系统，100 微米 × 100 微米 × 20 微米，LEMO连接器，电容传感器，平行计量

 

　　P-517.3CD

 

　　精密XYZ向纳米定位系统，100 微米 × 100 微米 × 20 微米，Sub-D连接器，电容传感器，平行计量

　　P-527.3CL

 

　　精密XYZ向纳米定位系统，200 微米 × 200 微米 × 20 微米，LEMO连接器，电容传感器，平行计量

 

　　P-527.3CD

 

　　精密XYZ向纳米定位系统，200 微米 × 200 微米 × 20 微米，Sub-D连接器，电容传感器，平行计量

 

　　P-517.RCD

 

　　精密XY向/旋转纳米定位系统，100 微米 × 100 微米，2 毫弧度，电容传感器，平行计量，Sub-D连接器

 

　　P-527.RCD

 

　　精密XY向/旋转纳米定位系统，200 微米 × 200 微米，4 毫弧度，电容传感器，平行计量，Sub-D连接器

 

　　P-561 • P-562 • P-563 PIMars纳米定位平台

 

　　用于多达3轴的高精度纳米定位系统

 

　　§ 并联运动实现更快的响应时间和更高的 多轴精度

 

　　§ 行程达300 × 300 × 300微米

 

　　§ 电容式传感器带来最高线性度

 

　　§ 零间隙，高精度柔性铰链导向系统

 

　　§ 优异的扫描平面度

 

　　§ 高动态XYZ版本

 

　　§ 通孔尺寸66 毫米×66毫米

 

　　§ PICMA压电陶瓷促动器带来超长使用寿 命

 

　　§ 超高真空版本达10-9百帕

 

　　描述

 

　　应用领域

 

　　· 扫描显微镜

 

　　· 掩模/晶圆定位

 

　　· 干涉测量

 

　　· 测量技术

 

　　· 生物技术

 

　　· 扫描和筛选

 

　　带电容式传感器，实现亚纳米分辨率

 

　　电容式传感器以亚纳米分辨率进行测量，且无接触。它们可确保优异的运动线性、长期稳定性和千赫兹范围的带宽。

 

　　自动配置和快速部件更换

 

　　机械部件和控制器可按需组合、快速更换。所有伺服和线性化参数均存储在机械部件的Sub-D连接器的ID芯片中。每当控制器启动时，数字控制器的自动校准功能就会使用这些数据。

 

　　适用于复杂真空应用

 

　　压电陶瓷系统中使用的所有部件均非常适合于在真空中使用。操作无需润滑剂或润滑脂。无聚合物的压电陶瓷系统可实现极低的排气率。

 

　　PICMA压电陶瓷促动器带来超长使用寿命

 

　　专利的PICMA压电陶瓷促动器为全瓷绝缘。这可以防潮，避免漏电流增大造成故障。PICMA促动器的使用寿命比传统的聚合物绝缘促动器长达十倍。它们被证明可实现无故障运行1000亿个循环。

 

　　零间隙柔性铰链导向带来高导向精度

 

　　柔性铰链导向无需维护、无摩擦、无磨损，无需润滑。它们的刚性可实现高负载能力，且它们对冲击和振动不敏感。它们百分百真空兼容，可在很广的温度范围内工作。

 

　　并联位置测量实现纳米级的高跟踪精度

 

　　各自由度均相对于单一固定参考进行了测量。对其他轴的不良运动串扰均可得到实时主动补偿(取决于带宽)(主动导向)。即使在动态操作中，跟踪精度也可高达纳米级。

 

　　订购信息

 

　　P-561.3CD

 

　　具有长行程的PIMars XYZ向纳米定位系统，100 微米 × 100 微米 × 100 微米，Sub-D连接器，电容传感器，平行计量

 

　　P-561.3CL

 

　　具有长行程的PIMars XYZ向纳米定位系统，100 微米 × 100 微米 × 100 微米，LEMO连接器，电容传感器，平行计量

 

　　P-561.3DD

 

　　PIMars高动态XYZ向纳米定位系统，45 微米 × 45 微米 × 15 微米，电容传感器，平行计量，Sub-D连接器，直接驱动

 

　　P-562.3CD

 

　　具有长行程的PIMars XYZ向纳米定位系统，200 微米 × 200 微米 × 200 微米，Sub-D连接器，电容传感器，平行计量

 

　　P-562.3CL

 

　　具有长行程的PIMars XYZ向纳米定位系统，200 微米 × 200 微米 × 200 微米，LEMO连接器，电容传感器，平行计量

 

　　P-563.3CD

 

　　具有长行程的PIMars XYZ向纳米定位系统，300 微米 × 300 微米 × 300 微米，Sub-D连接器，电容传感器，平行计量

 

　　P-563.3CL

 

　　具有长行程的PIMars XYZ向纳米定位系统，300 微米 × 300 微米 × 300 微米，LEMO连接器，电容传感器，平行计量