Physik Instrumente线性平台 H-811.I2系列

应用领域

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六脚架支持工业机器人科学仪器

半导体技术

显微镜检查

硅光子学

医疗技术

材料研究

机械工业

自动化

梁线仪器

添加剂制造

主动对准

线性平台

PI提供了广泛的电动线性平台产品组合。种类繁多的应用还意味着线性轴的技术可能性也非常广泛。行程范围从几毫米到几米，精度等级从纳米到微米：PI使驱动器，导向器或传感器技术适应应用条件。

有许多不同型号的真空版本。多轴组合可借助转接器支架实现，或者通过匹配的Z平台和旋转平台更加紧凑。

运动控制器可作为台式设备，机架版本或紧凑型OEM设备使用。所有这些因素的共同因素是通过通用命令集（GCS）进行命令，该命令简化了控制和编程，并且与驱动器类型无关。

可提供具有ACS运动控制器的多轴工业应用中的多轴系统。这样可确保通过Fieldbus接口轻松集成，以实现精密和以运动为中心的工业应用。

 

1.U-523PILine®线性平台

带有超声波压电马达的紧凑型线性平台

精密级线性定位平台

PILine®位移台特别适合需要快速精确定位的应用。关闭时，自锁驱动器会以机械方式稳定工作台的位置。因此，能量消耗和热量产生显着减少。这些特性使电池供电或对热敏感的低占空比应用受益。轴的位置由编码器测量，光学参考开关可实现可靠的可重复运动。压电驱动原理及其电气操作成本低廉，可以定制。

使用增量线性编码器进行高精度位置测量

非接触式光学编码器可以最高精度直接在平台上测量位置。非线性，机械间隙或弹性变形对测量没有影响。

PILine®超声波压电马达

PILine®超声波压电电机的组成部分是压电致动器，该压电致动器通过一个耦合元件预加载在可移动的导向流道上。压电陶瓷执行器被100至200 kHz之间的高频AC电压激励而产生超声振荡。致动器的变形导致联接元件相对于转轮周期性的对角运动。每个周期产生的进料为几纳米。高频导致高速。将压电陶瓷执行器预紧抵在转轮上，可确保驱动器在静止和关闭时自动锁定。

应用领域

显微操作，自动化，生物技术，样品处理，样品定位，空间有限的应用，10 -6 hPa的真空应用（可选）。

 

2.精度最高的N-565线性平台

具有亚纳米编码器分辨率的NEXACT®压电步进驱动器

NEXACT®参考级线性平台

带有NEXACT®PiezoWalk®驱动器的线性平台可在长行程范围内在纳米范围内进行高精度定位。它们配备有直接测量的线性编码器和交叉滚子轴承，可实现最高的精度。

使用PIOne线性编码器进行直接位置测量

PI开发了高分辨率的PIOne编码器，并通过对测量值进行相应的处理，使位置分辨率大大小于1纳米。另外，由于信号周期短和信号质量高，PIOne编码器的线性误差小于1％。PIOne编码器在评估参考信号时支持方向感测。

PiezoWalk®技术：高分辨率和低磨损

PiezoWalk®技术结合了压电执行器和压电马达的技术优势。PiezoWalk®行走驱动器不仅提供亚纳米级分辨率，高作用力和高刚度，而且理论上允许无限的行驶范围。与其他压电驱动原理相反，PiezoWalk®行走驱动器不受滑动摩擦的影响。它们基于沿着滑道步进的多个压电执行器的静摩擦接触。静止时，PiezoWalk®行走驱动器是自锁的，不消耗能量，并且不发热。

应用领域

样品处理，样品定位，具有高精度和稳定性的光学或机械组件，半导体行业的精密机械，显微操作，显微镜，自动化，在狭窄空间中的应用，在非磁性环境中的应用。

 

3.L-812高负载线性平台

步进或伺服电机•驱动螺杆•性价比高

强大的线性平台，用于要求苛刻的工业应用

精密滚珠丝杠，高性能步进或同步伺服电机，重型循环滚珠轴承以及精密旋转编码器可在高负载下连续可靠地运行。可选的抱闸允许用作Z轴。滚珠丝杠可以在不拆卸的情况下从外部进行补充润滑，以确保高可靠性和长寿命。

开拓设计

L-812系列的循环球轴承导轨设计用于高负载能力和动态性能。电机的高分辨率可改善跟踪性能，减小跟踪误差并缩短建立时间。

选项

步进或同步伺服电机

抱闸

旋转编码器，增量式或绝对式

折叠式传动系统可减少总长度

同步伺服电机

这些电动机在较大的转速范围内具有较高的定位精度和较高的过载能力。高扭矩和低惯量确保了驱动器的高动态。这些电机的使用寿命长，性能高且坚固耐用，可在工业自动化应用中获得出色的效果。

步进电机

强大且低振动的2相步进电机即使在没有位置控制的情况下也可以实现精确定位。

应用领域

电子产品生产：微装配。传感器/摄像头的位置。

激光材料加工：激光微加工。

工业喷墨印刷。矩阵板和印刷电路板的生产。

测试与检查。

医疗设备制造：气密焊接。基因实验室的机器人系统。

 

空气轴承和位移台

空气轴承台用于需要无振动运动，速度需要高度恒定且要求最佳角度重复性的场合。

空气轴承避免了摩擦，磨损和反冲效应。PIglide线性，旋转和球面轴承是精密组件，可以集成和电动化用于OEM，工业和研究市场。

 

1.A-142 PIglide音圈线性平台，带空气轴承

   高性能•兼容无尘室•垂直安装选件

产品总览

高性能紧凑型音圈线性平台，带有空气轴承导轨。免维护，无限寿命，非常适合具有高占空比和严格体积限制的高动态应用。

集成的平衡选项可实现垂直方向的操作。

配件和选件

PIglide过滤器和空气制备套件

垂直安装的气动平衡

应用领域

线性位移台非常适合高精度应用，例如计量学，光子学对准系统，光学器件定位和扫描。非接触式设计是洁净室应用的理想选择。电缆未移动。

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2.A-110 PIglide LC线性平台，带空气轴承

廉价的高性能纳米定位台

产品总览

PIglide定位系统具有磁性直线电机，磁性预加载的空气轴承和光学线性编码器：非接触和无摩擦运动，可提供最高的准确性和可靠性

应用领域

PIglide定位系统非常适合许多高精度应用，例如半导体或平板显示器制造中的计量，光子学和精密扫描。

由于无摩擦运动，不会形成任何颗粒，这使PIglide平台成为洁净室应用的理想选择。

配件和选件

编码器

PIglide过滤器和空气制备套件

单轴和多轴运动控制器

XY设置和个别配置

用花岗岩制成的底板和减少振动的系统

 

3.A-141 PIglide MB微型线性平台，带空气轴承

高性能，无尘室兼容，可定制 

产品总览

带有空气轴承的PIglide MB线性位移台配有伺服线性电机驱动器，该驱动器带有预装的空气轴承和集成的光学线性编码器。此阶段可提供微型格式的超高精度。非接触组件的组合形成了一个无摩擦运动平台，该平台可提供最高的性能，质量和使用寿命。

应用领域

该载物台非常适合许多高精度应用，例如计量，光子对准，光学定位和扫描。非接触式设计也是洁净室应用的理想选择。电缆未移动。空气轴承模块提供锁定设计，以实现最高的位置稳定性。

配件和选件

PIglide过滤器和空气制备套件

单轴和多轴运动控制器

用花岗岩制成的底板和减少振动的系统

 

旋转台

对旋转运动的要求显示出范围很广的各种尺寸，负载能力和定位精度。PI提供具有各种电动和导向选项的平台：空气轴承，扭矩马达驱动，蜗轮蜗杆耦合电动，小型压电马达平台以及带有正交倾斜安装选项的专用测角仪平台。它们都可以通过相应的线性，垂直和XY平台安装到多轴组合上。 

 

1.A-68x PIglide RLA旋转平台，带空气轴承，大孔径

无摩擦，电动

产品总览

PIglide RLA系列的直接驱动平面旋转平台设计为具有最高的精度。它们外形小巧，通光孔径大。RLA位移台具有出色的行程精度，平坦度和摆动性能。

绝对值编码器（可选）

绝对值编码器提供明确的位置信息，从而可以立即确定位置。这意味着在接通过程中不需要引用，从而提高了操作过程中的效率和安全性。

应用领域

断层扫描，束线系统，晶圆计量，晶圆检查，测量技术，检查系统，校准，扫描。

由于无摩擦运动，不会形成任何颗粒，这使PIglide平台成为洁净室应用的理想选择。

三相转矩电机

无刷

低齿槽转矩

配件和选件

增量或绝对编码器

PIglide过滤器和空气制备套件

单轴或多轴运动控制器和伺服驱动器

多轴/自定义设置

用花岗岩制成的底板和减少振动的系统

 

2.A-63x PIglide RL带有空气轴承的平面旋转平台

无摩擦，电动

产品总览

PIglide RL系列的直接驱动式薄型旋转位移台采用薄型设计，可实现最高的精度。可以组合使用各种选项，以创建理想的解决方案，以实现点对点索引或恒速扫描。RL位移台提供卓越的行程精度，平坦度和摆动性能。

绝对值编码器（可选）

绝对值编码器提供明确的位置信息，从而可以立即确定位置。这意味着在接通过程中不需要引用，从而提高了操作过程中的效率和安全性。

应用领域

光学对准，晶圆检查，晶圆对准，测量技术，检查系统，校准，扫描。

由于无摩擦运动，不会形成任何颗粒，这使PIglide平台成为洁净室应用的理想选择。

三相转矩电机

无刷

无槽

低齿槽转矩

配件和选件

增量或绝对编码器

真空馈通

在静止状态下通过电磁预载自锁

根据要求清除光圈

PIglide过滤器和空气制备套件

单轴或多轴运动控制器和伺服驱动器

多轴/自定义设置

用花岗岩制成的底板和减少振动的系统

常用型号