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| 品牌bronkhorst | 有效期至长期有效 | 最后更新2022-01-22 13:50 |
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Bronkhorst质量流量计F-132MI
Bronkhorst质量流量计F-132MI
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最小流量范围：0.3-15 ln/min；
最大流量范围：5-250 ln/min；
压力：400bar；
半导体和LED照明产业：
最初，热式质量流量计和控制器是在1970年代为半导体制造过程中的气相沉积而开发的。由于市场需求以及在气体、液体和蒸汽输送方面引进新的更好产品的需要，Bronkhorst称为半导体、平板显示器和LED行业的主要供应商。针对化学气相沉积（CVD）、平板显示器喷涂（FPD）和原子层沉积（ALD）工艺，Bronkhorst可为直接液体注入系统提供金属密封流量仪表。
Bronkhorst部分型号示例：
Bronkhorst F-231M-ABD-33-V
Bronkhorst F-201EV-ABD-22-V HI-TEC
Bronkhorst F-206AI-AAD-55-V
Bronkhorst F-203AV-1M0-AAD-55-V
Bronkhorst F-201CV-20K-BAD-00-V HI-TEC
Bronkhorst F-201CB-20K-AAD-00-Z
Bronkhorst F-203AV-M50-AGD-55-V
Bronkhorst F-203AI-1M0-AGD-44-V
Bronkhorst F-110C-002-AAD-11-V
Bronkhorst F-203AI-M50-AGD-44-V
Bronkhorst F-201CV-1K0-RGD-88-E
Bronkhorst F-203AI-1M0-AGD-55-V
应用案例：
切割（激光）前在晶片上沉积保护层
金属有机化学气相沉积(MOCVD)
原子层沉积(ALD)
超临界流体定量给料和控制（如超临界二氧化碳清洗）
平板显示器(FPD)喷涂
在FOUP卸载模块应用质量流量控制器进行氮气吹扫：
目前先进的技术要求在生产过程中对气体进行更好的流量控制，以提高产量并降低这些气体的使用成本。
超临界气体测量与控制：
当流体例如二氧化碳(CO2)在气液两相临界区域处，难以测量它们的流量。建议使用科里奥利质量流量计。
Bronkhorst质量流量计F-132MI 
