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Physik Instrumente位移平台 E-712.1AM

    

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品牌Physik Instrumente 有效期至长期有效 最后更新2022-08-31 16:36
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Physik Instrumente位移平台 E-712.1AM

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纳米定位压电挠性位移台
PI的压电挠性位移台将亚纳米分辨率和导向精度与最小的串扰相结合。这使得它们特别适合于计量学,超分辨率显微镜,干涉测量或半导体芯片生产检查系统中的应用。压电挠性位移台可用于毫秒级的精确定位和动态扫描,在高达6的自由度下可达到几百赫兹。
专有传感器设计,无摩擦挠性导轨和长寿命PICMA®压电执行器的独特结合,使机器具有出色且坚固的机械性能。压电运动控制器支持定位和扫描性能优化,并且可以轻松地通过数字或模拟接口进行集成,并进行舒适的编程。
 
多轴压电挠性位移台
PI的多轴压电挠性位移台可在多达6个轴上以亚纳米级的精度进行定位和扫描,包括尖端,倾斜和偏航运动。版本范围从最紧凑的立方体设计到大孔径和薄型。
XYZ扫描仪是定位技术的全方位工具。应用包括样品调整,技术,光学计量,光纤定位和光子学以及原子力显微镜。
所有压电纳米定位系统均已出厂校准,并随测量记录一起提供。 
 
P-616NanoCube®纳米定位器
紧凑的并联运动压电系统,用于纳米定位和光纤对准
应用领域:
光纤定位和对准
扫描显微镜
2-光子聚合
纳米技术与纳米制造
光子学/集成光学
显微操作
样品定位
 
电容式传感器的亚纳米分辨率
电容式传感器可在不接触的情况下以亚纳米分辨率进行测量。它们保证了出色的运动线性,长期稳定性以及kHz范围内的带宽。
自动配置和快速的组件更换
机械和控制器可以根据需要进行组合,并可以快速更换。所有伺服和线性化参数都存储在机械师D-sub连接器的ID芯片中。每次打开控制器时,数字控制器的自动校准功能都会使用此数据。
适用于复杂的真空应用
压电系统中使用的所有组件都非常适合在真空中使用。无需润滑剂或油脂即可运行。不含聚合物的压电系统可实现极低的脱气率。
PICMA®压电执行器,使用寿命长
专利的PICMA®压电执行器是全陶瓷绝缘的。这样可以保护它们免受潮湿和由于泄漏电流增加而引起的故障的影响。PICMA®执行器的使用寿命是传统聚合物绝缘执行器的十倍之多。已证明没有任何故障的1000亿次循环。
零游隙挠性导轨,导向精度高
挠性导板无维护,无摩擦和无磨损,并且不需要润滑。它们的刚度允许高负载能力,并且对冲击和振动不敏感。它们是100%真空兼容的,并且可在较宽的温度范围内工作。
通过并联运动学实现高动态多轴运行
在并联运动多轴系统中,所有执行器都作用在一个公共平台上。最小的质量惯性和所有轴的相同设计允许快速,动态且仍然精确的运动。
 
P-363 PicoCube XY(Z)压电扫描仪
用于扫描探针显微镜的动态纳米定位仪
应用领域:
扫描探针显微镜
原子力显微镜
扫描和筛选
 
零游隙挠性导轨,导向精度高
挠性导板无维护,无摩擦和无磨损,并且不需要润滑。它们的刚度允许高负载能力,并且对冲击和振动不敏感。它们是100%真空兼容的,并且可在较宽的温度范围内工作。
平行位置测量,在纳米范围内具有很高的跟踪精度
所有的自由度均以单个固定参考为基准进行测量。轴之间不需要的串扰可以实时(根据带宽)得到主动补偿(主动引导)。即使在动态操作中,也可以在纳米范围内实现高跟踪精度。
电容式传感器的亚纳米分辨率
电容式传感器可在不接触的情况下以亚纳米分辨率进行测量。它们保证了出色的运动线性,长期稳定性以及kHz范围内的带宽。
自动配置和快速的组件更换
机械和控制器可以根据需要进行组合,并可以快速更换。所有伺服和线性化参数都存储在机械师D-sub连接器的ID芯片中。每次打开控制器时,数字控制器的自动校准功能都会使用此数据。
 
常用型号
Physik Instrumente S-331.5SH
Physik Instrumente S-330.4SH
Physik Instrumente S-330.2SH
Physik Instrumente H-824.D2V
Physik Instrumente H-824.G2
Physik Instrumente H-820.D2
Physik Instrumente H-811.I2
Physik Instrumente E-500.00
Physik Instrumente E-505.00S
Physik Instrumente E-509.S3
Physik Instrumente E-727.3SDA
Physik Instrumente E-727.3SD
Physik Instrumente E-709.CRG
Physik Instrumente E-727.3SDA
Physik Instrumente E-664.S3
Physik Instrumente E-852.10
Physik Instrumente E-873.1AT
Physik Instrumente E-712.1AM
Physik Instrumente D-891.01E
Physik Instrumente D-510.051
Physik Instrumente U-521.24
Physik Instrumente L-741.133111
Physik Instrumente L-402.10SD
Physik Instrumente L-738.053111
Physik Instrumente L-741.131112
Physik Instrumente N-216.2A1 N
Physik Instrumente P-611.3S
Physik Instrumente Q-521.130
联系方式
北京汉达森机械技术有限公司
总部地址:北京市顺义区 旭辉空港中心 C-1035
电话:010-64714988/010-64717020
传真:010-64714988/010-64717020 - 666
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