德国Physik压电P-541.2系列大口径升降/倾斜工作台

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 Physik 压电纳米定位表

Physik 多轴压电

Physik PI多轴压敏仪允许在多达6个轴上以亚纳米级精度进行定位和扫描，包括所有倾斜和旋转方向。从特别紧凑的压电立方体到具有大孔径和低剖面的设计，有许多变体可供选择。

带压电陶瓷驱动器和固态接头的升降/倾斜工作台

P-541.2 • P-542.2 压电交叉工作台

大口径平面XY纳米定位系统

高度低，易于集成：16.5 mm

孔径 80 mm × 80 mm

行程可达 200 μm × 200 μm

通过并联运动实现更快的响应时间和更高的多轴精度

高动态直接驱动版本

传感器：低成本应变片传感器或电容式传感器，可实现更高性能

通过PICMA®压电陶瓷促动器实现超长的使用寿命

与显微镜载物台结合使用，可实现更大的行程范围

应用

扫描显微镜

高通量显微镜

超分辨率显微镜

掩模/晶圆定位

干涉

测量

生物工艺学

显微操作

带电容式传感器的亚纳米分辨率

电容式传感器以亚纳米分辨率进行非接触式测量。它们保证了出色的机芯线性度、高长期稳定性和 kHz 范围内的带宽。

自动配置和快速组件更换

机械装置和控制器可以根据需要组合并快速更换。所有伺服和线性化参数都存储在机械师D-Sub连接器的ID芯片中。每次控制器打开时，数字控制器的自动校准功能都会自动使用此数据。

通过平行运动实现高动态多轴操作

在并联运动多轴系统中，所有执行器都作用于一个公共平台。最小的质量惯性和所有轴的相同设计允许快速、动态和精确的运动。

P-541.2CD /P-541.2CL

P-542.2CD /P-542.2CL

P-541.2DD

P-541.2SL

P-542.2SL

P-541.20L /P-542.20L

P-541。Z • P-541。T压电升降台/升降和倾斜台

扁平化设计，大光圈

高度低，易于集成：16.5 mm

孔径 80 mm × 80 mm

行程可达 150 μm

倾斜角度高达 1.2 mrad。

通过并联运动实现更快的响应时间和更高的多轴精度

传感器：低成本应变片传感器或电容式传感器，可实现更高性能

通过PICMA®压电陶瓷促动器实现超长的使用寿命

可与显微镜载物台结合使用，以实现大行程范围

应用

扫描显微镜

超分辨率显微镜

生物工艺学

掩模/晶圆定位

样品定位

干涉

测量

PICMA® 压电陶瓷促动器具有出色的使用寿命

获得专利的PICMA®压电陶瓷促动器是全陶瓷绝缘的。这可以保护它们免受由于泄漏电流增加而导致的潮湿和故障的影响。PICMA®促动器的使用寿命是传统聚合物绝缘致动器的十倍。经过 100 亿次循环验证，无一次故障。

带电容式传感器的亚纳米分辨率

电容式传感器以亚纳米分辨率进行非接触式测量。它们保证了出色的机芯线性度、高长期稳定性和 kHz 范围内的带宽。

通过无间隙固态接头导向装置实现高导向精度

固态接头导轨无需维护、无摩擦、无磨损，无需润滑剂。它们的刚性使其具有很高的弹性，对冲击载荷和振动不敏感。它们在很宽的温度范围内工作。

自动配置和快速组件更换

机械装置和控制器可以根据需要组合并快速更换。所有伺服和线性化参数都存储在机械师D-Sub连接器的ID芯片中。每次控制器打开时，数字控制器的自动校准功能都会自动使用此数据。

通过平行运动实现高动态多轴操作

在并联运动多轴系统中，所有执行器都作用于一个公共平台。最小的质量惯性和所有轴的相同设计允许快速、动态和精确的运动。

P-541.T0L

P-541.TCD

P-541.TSL

P-541.Z0L

P-541.ZCD

P-541.ZSL

P-518 • P-528 • P-558 压电升降和倾斜工作台

高动态，大光圈

6轴压电定位器

3轴升降和倾斜工作台/1轴升降台

Z轴行程/倾斜角度可达 200 μm / 2 mrad（高达 240 μm / 2.4 mrad，不受控制）

通过并联运动实现更快的响应时间和更高的多轴精度

无间隙和高精度固态导轨

通过PICMA®压电陶瓷促动器实现超长的使用寿命

自由光圈 66 mm × 66 mm

通过集成电容式传感器实现最高线性度

应用

测量

干涉

光子学/集成光学

光刻

纳米定位

扫描显微镜

样品比对

微加工

PICMA® 压电陶瓷促动器具有出色的使用寿命

获得专利的PICMA®压电陶瓷促动器是全陶瓷绝缘的。这可以保护它们免受由于泄漏电流增加而导致的潮湿和故障的影响。PICMA®促动器的使用寿命是传统聚合物绝缘致动器的十倍。经过 100 亿次循环验证，无一次故障。

带电容式传感器的亚纳米分辨率

电容式传感器以亚纳米分辨率进行非接触式测量。它们保证了出色的机芯线性度、高长期稳定性和 kHz 范围内的带宽。

通过无间隙固态接头导向装置实现高导向精度

固态接头导轨无需维护、无摩擦、无磨损，无需润滑剂。它们的刚性使其具有很高的弹性，对冲击载荷和振动不敏感。它们在很宽的温度范围内工作。

自动配置和快速组件更换

机械装置和控制器可以根据需要组合并快速更换。所有伺服和线性化参数都存储在机械师D-Sub连接器的ID芯片中。每次控制器打开时，数字控制器的自动校准功能都会自动使用此数据。

通过平行位置测量实现纳米范围内的高路径保真度

所有自由度均根据单个固定基准进行测量。可以实时调节运动到另一个轴的不需要的串扰（取决于带宽）（主动引导）。即使在动态操作中，也能实现纳米范围内的高路径保真度。

P-518.TCD

P-518.ZCD

P-518.ZCL

P-528.TCD

P-528.ZCD

P-528.ZCL

P-558.TCD

P-558.ZCD

P-558.ZCL

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